[实用新型]一种ICP尾气处理装置有效
申请号: | 201920697745.6 | 申请日: | 2019-05-16 |
公开(公告)号: | CN210631925U | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 杨仕品 | 申请(专利权)人: | 昆山市智程自动化设备有限公司 |
主分类号: | B01D53/78 | 分类号: | B01D53/78;B01D53/96 |
代理公司: | 苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙) 32354 | 代理人: | 朱丹 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种ICP尾气处理装置,包括机架、循环水箱、进气管、排气管以及由多级喷淋腔室构成的处理室,进气管与排气管设置在机架上端,进气管与处理室之间还设置有初始喷淋腔室,处理室包括一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室,每个腔室内均设置有喷淋管,喷淋管口均设置有螺旋喷淋头,每个腔室之间设置有过滤板和平铺散堆的拉西环填料,二级喷淋腔室和最终喷淋腔室之间设置有虹吸喷淋腔室,该ICP尾气处理装置利用处理室将ICP尾气与溶有三氯化硼气体的循环处理液充分中和处理,并且利用虹吸喷淋将尾气导流到最终喷淋腔室中,可以充分处理尾气残余有害气体,而且保持循环处理液温度在结晶临界温度之上,节能环保。 | ||
搜索关键词: | 一种 icp 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】:
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