[实用新型]一种ICP尾气处理装置

权利要求书

1.一种ICP尾气处理装置，包括机架、循环水箱、进气管、排气管以及由多级喷淋腔室构成的处理室，其特征在于：

所述机架一侧设有电控箱，包括控制面板、温度监测器、pH监测器以及泵，所述温度监测器、pH监测器与所述循环水箱内的溶有三氯化硼气体的循环处理液电性连接，

所述进气管与排气管设置在所述机架上端，所述进气管与处理室之间还设置有初始喷淋腔室，所述处理室包括一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室，所述初始喷淋腔室、一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室中一体连通有喷淋管，每个腔室内均设置有喷淋管，所述喷淋管口均设置有螺旋喷淋头，每个腔室之间设置有过滤板和平铺散堆的拉西环填料，

所述二级喷淋腔室和最终喷淋腔室之间设置有虹吸喷淋腔室，通过循环处理液将尾气导流到最终喷淋腔室，并设置有与所述循环水箱管路连接的溢流口。

2.根据权利要求1所述的ICP尾气处理装置，其特征在于：所述排气管下方设置有除雾器。

3.根据权利要求1所述的ICP尾气处理装置，其特征在于：所述循环水箱设置有进水口和排水口。

4.根据权利要求1所述的ICP尾气处理装置，其特征在于：所述温度监测器控制所述循环水箱内的液体温度在45℃以上。

5.根据权利要求1所述的ICP尾气处理装置，其特征在于：所述初始喷淋腔室、一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室一侧均设置有维修视窗。

6.根据权利要求1所述的ICP尾气处理装置，其特征在于：所述机架底座下设置有防漏盆。