[实用新型]一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机有效
| 申请号： | 201920671311.9 | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN209674185U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 蔡志国;王友车 | 申请（专利权）人： | 苏州微影激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 胡彬<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 215123 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及曝光机技术领域，公开一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机。其中直写式曝光机工作台组件包括平行且间隔设置于工作台上卷放装置和卷收装置，用于对待曝光卷材的卷放和卷收；与工作台连接的移动装置，被配置为能带动工作台相对曝光系统移动，以使曝光系统能对卷放装置和卷收装置之间的待曝光材料进行曝光。还公开了一共包括上述直写式曝光机工作台组件的直写式曝光机。本实用新型通过将卷放装置和卷轴装置直接安装在工作台上，实现待曝光卷材与工作台在曝光时时刻保持相对静止，不会对待曝光卷材上靠近曝光区域的部分产生拉扯，减少了对卷材品质的影响，提高的曝光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 直写 曝光 卷材 曝光机工作台 卷放装置 曝光机 工作台 本实用新型 卷收装置 曝光系统 间隔设置 卷轴装置 曝光材料 曝光区域 相对静止 移动装置 直接安装 组件包括 卷收 拉扯 平行 移动 配置 | ||
【主权项】：
1.一种直写式曝光机工作台组件，包括工作台(20)，其特征在于，还包括：/n卷放装置(21)和卷收装置(22)，所述卷放装置(21)和所述卷收装置(22)平行且间隔设置于所述工作台(20)上，所述卷放装置(21)用于对待曝光卷材进行卷放，所述卷收装置(22)用于对所述待曝光卷材进行卷收；/n移动装置(4)，其与所述工作台(20)连接，所述移动装置(4)被配置为能带动所述工作台(20)相对曝光系统(3)移动，以使所述曝光系统(3)能对所述卷放装置(21)和所述卷收装置(22)之间的待曝光材料进行曝光。/n
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