[实用新型]半导体真空设备用逆止阀及半导体真空设备有效
| 申请号： | 201920633398.0 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN209340570U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 张耿 | 申请（专利权）人： | 张耿 |
| 主分类号： | F16K15/06 | 分类号： | F16K15/06;F16K27/02;F16K51/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律远专利代理事务所(普通合伙) 11574 | 代理人： | 全成哲 |
| 地址： | 102199 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体真空设备用逆止阀及半导体真空设备。半导体真空设备用逆止阀包括：阀体，其配置有进气口和出气口；阀芯，其配置有贯通孔，所述阀芯位于所述阀体内部，所述贯通孔的一端口与所述进气口相对布置，所述贯通孔的另一端口与所述出气口相对布置，所述阀芯的外壁与所述阀体的内壁之间形成连通所述进气口和所述出气口的通风间隔；阀片，所述阀片设置在所述阀体的内部，并用于在所述进气口处压力小于所述出气口处压力时遮挡住所述进气口。半导体真空设备用逆止阀在真空泵发生故障能够及时截断真空管路，以提高半导体真空设备使用可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体真空 进气口 逆止阀 出气口 贯通孔 阀体 阀芯 相对布置 阀片 本实用新型 出气口处 发生故障 设备使用 通风间隔 真空管路 体内部 真空泵 截断 内壁 外壁 配置 遮挡 连通 | ||
【主权项】：
1.一种半导体真空设备用逆止阀，其特征在于，包括：阀体，其配置有进气口和出气口；阀芯，其配置有贯通孔，所述阀芯位于所述阀体内部，所述贯通孔的一端口与所述进气口相对布置，所述贯通孔的另一端口与所述出气口相对布置，所述阀芯的外壁与所述阀体的内壁之间形成连通所述进气口和所述出气口的通风间隔；阀片，所述阀片设置在所述阀体的内部，并用于在所述进气口处压力小于所述出气口处压力时遮挡住所述进气口。
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