[实用新型]挂载装置和磁控溅射镀膜系统有效
| 申请号： | 201920631449.6 | 申请日： | 2019-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN210001922U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 陈富松;方政 | 申请（专利权）人： | 东旭(昆山)显示材料有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 11283 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李健;蒋爱花 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及挂载装置领域，公开了一种挂载装置和磁控溅射镀膜系统，所述挂载装置包括上导轨(1)、下导轨(2)以及安装在所述上导轨(1)和所述下导轨(2)之间的安装架(3)，其中，所述安装架(3)的上端通过上磁悬浮结构安装于所述上导轨(1)，所述安装架(3)的下端通过下磁悬浮结构安装于所述下导轨(2)。上述挂载装置利用磁悬浮原理使安装架不与上导轨和下导轨接触，使得安装架在移动过程中始终悬浮在导轨上，移动过程平稳，避免安装架振动，从而避免安装架中所挂载的工件(例如，玻璃基板等)移动、形变或者破裂，提高成品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 安装架 挂载装置 上导轨 下导轨 磁悬浮结构 移动过程 磁控溅射镀膜 本实用新型 磁悬浮原理 玻璃基板 上端 形变 导轨 挂载 下端 悬浮 破裂 移动 | ||
【主权项】：
1.一种挂载装置，其特征在于，所述挂载装置包括上导轨(1)、下导轨(2)以及安装在所述上导轨(1)和所述下导轨(2)之间的安装架(3)，其中，所述安装架(3)的上端通过上磁悬浮结构安装于所述上导轨(1)，所述安装架(3)的下端通过下磁悬浮结构安装于所述下导轨(2)。/n
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