[实用新型]挂载装置和磁控溅射镀膜系统

权利要求书

1.一种挂载装置，其特征在于，所述挂载装置包括上导轨(1)、下导轨(2)以及安装在所述上导轨(1)和所述下导轨(2)之间的安装架(3)，其中，所述安装架(3)的上端通过上磁悬浮结构安装于所述上导轨(1)，所述安装架(3)的下端通过下磁悬浮结构安装于所述下导轨(2)。

2.根据权利要求1所述的挂载装置，其特征在于，所述下磁悬浮结构包括用于使得所述安装架(3)悬浮于安装于所述下导轨(2)的悬浮部和用于推动所述安装架(3)沿所述下导轨(2)移动的推进部。

3.根据权利要求2所述的挂载装置，其特征在于，所述下磁悬浮结构包括用于引导所述安装架(3)沿所述下导轨(2)移动的导向部。

4.根据权利要求3所述的挂载装置，其特征在于，所述下导轨(2)形成有安装块(21)，所述安装架(3)的下端形成有安装于所述安装块(21)的安装槽(32)，所述安装槽(32)的尺寸大于所述安装块(21)的尺寸以预留悬浮空间。

5.根据权利要求4所述的挂载装置，其特征在于，

所述悬浮部包括设置于所述安装块(21)的导轨悬浮线圈(61)和设置于所述安装槽(32)与所述导轨悬浮线圈(61)对应的位置的安装架悬浮线圈(62)；

所述推进部包括设置于所述安装块(21)的导轨推进线圈(41)和设置于所述安装槽(32)与所述导轨推进线圈(41)对应的位置的安装架推进线圈(42)；以及

所述导向部包括设置于所述安装块(21)的导轨导向线圈(51)和设置于所述安装槽(32)与所述导轨导向线圈(51)对应的位置的安装架导向线圈(52)。

6.根据权利要求5所述的挂载装置，其特征在于，

所述导轨悬浮线圈(61)包括沿所述下导轨(2)的宽度方向间隔设置于所述安装块(21)的下侧的第一导轨悬浮线圈和第二导轨悬浮线圈，所述安装架悬浮线圈(62)包括相应的第一安装架悬浮线圈和第二安装架悬浮线圈；

所述导轨推进线圈(41)包括沿所述下导轨(2)的宽度方向间隔设置于所述安装块(21)的上侧的第一导轨推进线圈和第二导轨推进线圈，所述安装架推进线圈(42)包括相应的第一安装架推进线圈和第二安装架推进线圈；以及

所述导轨导向线圈(51)包括沿所述下导轨(2)的宽度方向设置于所述安装块(21)的两端处的第一导轨导向线圈和第二导轨导向线圈，所述安装架导向线圈(52)包括相应的第一安装架导向线圈和第二安装架导向线圈。

7.根据权利要求5所述的挂载装置，其特征在于，所述导轨悬浮线圈(61)所形成的磁极的极性与所述安装架悬浮线圈(62)所形成的磁极的极性不同；所述导轨导向线圈(51)所形成的磁极的极性与所述安装架导向线圈(52)所形成的磁极的极性相同。

8.根据权利要求5-7中任意一项所述的挂载装置，其特征在于，沿所述下导轨(2)的延伸方向，所述导轨推进线圈(41)间隔形成有的N极和S极，所述安装架推进线圈(42)间隔形成有S极和N极。

9.根据权利要求1所述的挂载装置，其特征在于，所述上导轨(1)形成有安装槽，所述安装架(3)的上端安装于所述安装槽中，所述安装槽的两侧壁处形成有第一磁极，所述安装架(3)的上端形成有第二磁极，所述第一磁极的极性与所述第二磁极的极性相同；和/或所述安装架为钛金属框架。

10.一种磁控溅射镀膜系统，其特征在于，所述磁控溅射镀膜系统包括根据权利要求1-9中任意一项所述的挂载装置。