[实用新型]挂载装置和磁控溅射镀膜系统

说明书

本实用新型涉及挂载装置领域，公开了一种挂载装置和磁控溅射镀膜系统，所述挂载装置包括上导轨(1)、下导轨(2)以及安装在所述上导轨(1)和所述下导轨(2)之间的安装架(3)，其中，所述安装架(3)的上端通过上磁悬浮结构安装于所述上导轨(1)，所述安装架(3)的下端通过下磁悬浮结构安装于所述下导轨(2)。上述挂载装置利用磁悬浮原理使安装架不与上导轨和下导轨接触，使得安装架在移动过程中始终悬浮在导轨上，移动过程平稳，避免安装架振动，从而避免安装架中所挂载的工件(例如，玻璃基板等)移动、形变或者破裂，提高成品的质量。

技术领域

本实用新型涉及挂载装置领域，具体地涉及一种挂载装置和磁控溅射镀膜系统。

背景技术

薄膜技术能够赋予材料表面新的机械功能、装饰功能和各种特殊的声、光、电、磁及其转换功能等，因此，薄膜技术在许多领域得到了应用。磁控溅射技术由于其沉膜温度较低、沉膜均匀性好等特点在各种功能性薄膜领域、装饰领域、机械加工领域、光学领域等得到了大量的应用。特别是近年来透明导电玻璃被广泛运用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等上面，磁控溅射技术更多的被开发和运用于透明导电玻璃的制备上。

传统的磁控溅射镀膜制程中，挂载装置在运送基板行进的过程中，由于传送导轨间有高低差、传送导轨变形、挂载装置和导轨接触面不平、导向轮与挂载装置间的摩擦和碰撞、电机的启动和停止过程等因素会使挂载装置发生震动，导致基板在挂载装置上移动或发生形变，基板较薄时往往还会发生基板破裂，基板在制程腔体内破裂清理十分麻烦，浪费大量的时间，影响生产制造的正常进行，降低生产效率，增加生产成本。

因此，希望有一种挂载装置能够克服或者至少减轻现有技术的上述缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的问题，提供挂载装置，该挂载装置利用磁悬浮技术以减少或者避免安装架移动过程中的振动。

为了实现上述目的，本实用新型一方面提供一种挂载装置，所述挂载装置包括上导轨、下导轨以及安装在所述上导轨和所述下导轨之间的安装架，其中，所述安装架的上端通过上磁悬浮结构安装于所述上导轨，所述安装架的下端通过下磁悬浮结构安装于所述下导轨。

优选地，所述下磁悬浮结构包括用于使得所述安装架悬浮于安装于所述下导轨的悬浮部和用于推动所述安装架沿所述下导轨移动的推进部。

优选地，所述下悬浮结构包括用于引导所述安装架沿所述下导轨移动的导向部。

优选地，所述下导轨形成有安装块，所述安装架的下端形成有安装于所述安装块的安装槽，所述安装槽的尺寸大于所述安装块的尺寸以预留悬浮空间。

优选地，所述悬浮部包括设置于所述安装块的导轨悬浮线圈和设置于所述安装槽与所述导轨悬浮线圈对应的位置的安装架悬浮线圈；所述推进部包括设置于所述安装块的导轨推进线圈和设置于所述安装槽与所述导轨推进线圈对应的位置的安装架推进线圈；以及所述导向部包括设置于所述安装块的导轨导向线圈和设置于所述安装槽与所述导轨导向线圈对应的位置的安装架导向线圈。

优选地，所述导轨悬浮线圈包括沿所述下导轨的宽度方向间隔设置于所述安装块的下侧的第一导轨悬浮线圈和第二导轨悬浮线圈，所述安装架悬浮线圈包括相应的第一安装架悬浮线圈和第二安装架悬浮线圈；所述导轨推进线圈包括沿所述下导轨的宽度方向间隔设置于所述安装块的上侧的第一导轨推进线圈和第二导轨推进线圈，所述安装架推进线圈包括相应的第一安装架推进线圈和第二安装架推进线圈；以及所述导轨导向线圈包括沿所述下导轨的宽度方向设置于所述安装块的两端处的第一导轨导向线圈和第二导轨导向线圈，所述安装架导向线圈包括相应的第一安装架导向线圈和第二安装架导向线圈。

优选地，所述导轨悬浮线圈所形成的磁极的极性与所述安装架悬浮线圈所形成的磁极的极性不同；所述导轨导向线圈所形成的磁极的极性与所述安装架导向线圈所形成的磁极的极性相同。