[实用新型]靶材制作装置有效
| 申请号： | 201920619710.0 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN210420135U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 张蛟;周维国;徐国军;万捷 | 申请（专利权）人： | 领凡新能源科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京智晨知识产权代理有限公司 11584 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 101407 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种靶材制作装置，包括熔炼室和设置在所述熔炼室一侧的雾化室，所述熔炼室设有导流管，所述导流管一端由熔炼室通入熔融的靶材原料，所述导流管另一端延伸到雾化室内，所述雾化室内固设有靶材固定件，所述导流管朝向所述靶材固定件方向，所述导流管外侧套设有雾化喷盘，所述雾化喷盘与外界惰性气体气源连通。本申请中，采用雾化喷盘与导流管配合构成二流体结构将靶材熔液雾化，成型的金属颗粒被高速气流加速后撞击靶材衬底并沉积在上面，形成靶材，生产效率高，生产工序少，靶材原料利用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 装置 | ||
【主权项】：
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