[实用新型]一种光罩盒锁定/解锁装置及相应的光刻机有效
| 申请号： | 201920613386.1 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN210105521U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 王猛 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | E05B65/00 | 分类号： | E05B65/00;E05B15/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻机制造领域，提供了一种光罩盒锁定/解锁装置。包括一设置于承载台上的导向结构，所述导向结构围护于所述光罩盒四周，并限定所述光罩盒只能在垂直于所述承载台的方向上运动，直至所述光罩盒与所述承载台上的解锁栓脱离。本实用新型通过设置一导向结构，迫使光罩盒在离开承载台的过程中，必须先经过一垂直上升的过程，从而消除了因操作不当而导致的误解锁动作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光罩盒 锁定 解锁 装置 相应 光刻 | ||
【主权项】：
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