[实用新型]一种光罩盒锁定/解锁装置及相应的光刻机有效
| 申请号： | 201920613386.1 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN210105521U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 王猛 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | E05B65/00 | 分类号： | E05B65/00;E05B15/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光罩盒 锁定 解锁 装置 相应 光刻 | ||
1.一种光罩盒锁定/解锁装置，其特征在于，包括一设置于承载台上的导向结构；
所述导向结构围护于所述光罩盒四周，并限定所述光罩盒只能在垂直于所述承载台的方向上运动，直至所述光罩盒脱离所述承载台上的解锁栓的作用范围。
2.如权利要求1所述的一种光罩盒锁定/解锁装置，其特征在于，所述导向结构的高度大于所述解锁栓与所述光罩盒的高度之和。
3.如权利要求1或2所述的一种光罩盒锁定/解锁装置，其特征在于，所述光罩盒包括通过锁扣连接的内盒和外盒，所述光罩盒放入所述承载台后，所述解锁栓用于解锁所述锁扣，以使所述内盒和外盒分离。
4.如权利要求3所述的一种光罩盒锁定/解锁装置，其特征在于，所述锁扣至少为2个。
5.如权利要求1或2所述的一种光罩盒锁定/解锁装置，其特征在于，所述导向结构包括至少3个导向板，所述导向板间隔地设置于所述光罩盒的四周，并与所述光罩盒相贴合。
6.如权利要求5所述的一种光罩盒锁定/解锁装置，其特征在于，所述光罩盒为矩形，所述导向板为设置于所述光罩盒四角的4个L型板。
7.如权利要求5所述的一种光罩盒锁定/解锁装置，其特征在于，所述光罩盒为矩形，所述导向板为设置于所述光罩盒四边的4个I型板。
8.如权利要求1或2所述的一种光罩盒锁定/解锁装置，其特征在于，所述导向结构包括至少3个导向柱，所述导向柱与所述光罩盒相贴合。
9.如权利要求8所述的一种光罩盒锁定/解锁装置，其特征在于，所述光罩盒为圆形，3个所述导向柱间隔均匀地设置于所述光罩盒四周。
10.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的一种光罩盒锁定/解锁装置。
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