[实用新型]一种光罩盒锁定/解锁装置及相应的光刻机

说明书

本实用新型涉及光刻机制造领域，提供了一种光罩盒锁定/解锁装置。包括一设置于承载台上的导向结构，所述导向结构围护于所述光罩盒四周，并限定所述光罩盒只能在垂直于所述承载台的方向上运动，直至所述光罩盒与所述承载台上的解锁栓脱离。本实用新型通过设置一导向结构，迫使光罩盒在离开承载台的过程中，必须先经过一垂直上升的过程，从而消除了因操作不当而导致的误解锁动作。

技术领域

本实用新型涉及光刻机制造领域，尤其涉及一种光罩盒锁定/解锁装置及相应的光刻机。

背景技术

光罩是光刻制程中的关键部件，其为玻璃制品，且其上用于保护图形的保护膜又非常薄。在生产过程中，如操作稍有不慎就会导致保护膜受损甚至光罩破裂。由于光罩一旦受损，修复周期非常长，很有可能导致产品断线。因此，光罩盒的解锁单元非常重要，不能被误触发。

但目前大多光刻机上的光罩盒锁定/解锁单元都存在设计缺陷。如图1所示，在工厂的实际操作中，当光罩盒1从承载台5上被拿起时，光罩盒1经常是被提起一条边，因而对边处的锁扣3容易被对边处的解锁栓2触发(由于外盒11以A点为支点旋转，锁扣3被解锁栓2卡住而造成)，从而松开。锁扣3解锁后光罩盒1的外盒11和内盒12自然分离，盒中放置的光罩4容易滑动，造成光罩4的损坏。

我们希望对所述锁定/解锁装置进行改进，通过限定光罩盒的活动轨迹，避免误操作的出现。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光罩盒锁定/解锁装置，该装置能够引导光罩盒从合理的轨迹离开承载台，从而解决光罩盒外盒误触发的问题。

本实用新型提出了一种光罩盒锁定/解锁装置，包括一设置于承载台上的导向结构；所述导向结构围护于所述光罩盒四周，并限定所述光罩盒只能在垂直于所述承载台的方向上运动，直至所述光罩盒脱离所述承载台上的解锁栓的作用范围。

上述的一种光罩盒锁定/解锁装置中，所述导向结构的高度大于所述解锁栓与所述光罩盒的高度之和。

上述的一种光罩盒锁定/解锁装置中，所述光罩盒包括通过锁扣连接的内盒和外盒，所述光罩盒放入所述承载台后，所述解锁栓用于解锁所述锁扣，以使所述内盒和外盒分离。

上述的一种光罩盒锁定/解锁装置中，所述锁扣至少为2个。

上述的一种光罩盒锁定/解锁装置中，所述导向结构包括至少3个导向板，所述导向板间隔地设置于所述光罩盒的四周，并与所述光罩盒相贴合。

上述的一种光罩盒锁定/解锁装置中，所述光罩盒为矩形，所述导向板为设置于所述光罩盒四角的4个L型板。

上述的一种光罩盒锁定/解锁装置中，所述光罩盒为矩形，所述导向板为设置于所述光罩盒四边的4个I型板。

上述的一种光罩盒锁定/解锁装置中，所述导向结构包括至少3个导向柱，所述导向柱与所述光罩盒相贴合。

上述的一种光罩盒锁定/解锁装置中，所述光罩盒为圆形，3个所述导向柱间隔均匀地设置于所述光罩盒四周。

本实用新型的另一目的在于提供一种光刻机，所述光刻机的承载台上采用上述的锁定/解锁装置。

与现有技术相比，本实用新型通过设置一导向结构，迫使光罩盒在离开承载台的过程中，必须先经过一垂直上升的过程，确保光罩盒离开解锁栓后才可以平移或倾斜，从而消除了因操作不当而导致的误解锁的隐患。由于解锁动作将导致光罩盒的内外盒分离，因而光罩安全得不到保证，采用了本实用新型所提出的锁定/解锁装置后，内外盒不再意外分离，从而保证了光罩的安全，提高生产线效率。

附图说明

图1是本实用新型现有缺陷的示意图；

图2是本实用新型中导向板设置的示意图；