[实用新型]一种便于移动的物理气相沉积装置有效

专利信息
申请号: 201920602098.6 申请日: 2019-04-29
公开(公告)号: CN210030871U 公开(公告)日: 2020-02-07
发明(设计)人: 黄先锋;陈杰 申请(专利权)人: 天津欧亚西斯金属制品有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;C23C14/52
代理公司: 11582 北京久维律师事务所 代理人: 邢江峰
地址: 300203 天津市北*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型提供一种便于移动的物理气相沉积装置,包括气相沉积箱,电源控制箱,转动箱盖,密封圈,卡接板,可存放挂接移动板结构,可转动卡接吸附观察板结构,可插接防滑调节座结构,第一连接管,连接座,磁控管,第二连接管,吊装座,连接杆和吊装环。本实用新型移动板,定向轮和万向轮的设置,有利于移动气相沉积箱,方便气相沉积箱在不同的位置进行工作,增加移动功能;观察箱门,观察片和气相沉积箱的设置,有利于观察气相沉积箱内部材料的加工过程,增加观察功能;支撑杆,调节管,翼形螺栓和放置板的设置,有利于调节放置板的高度,方便根据材料的加工需要进行调节工作。
搜索关键词: 气相沉积 本实用新型 放置板 连接管 移动板 密封圈 物理气相沉积装置 电源控制箱 便于移动 内部材料 移动功能 翼形螺栓 沉积箱 磁控管 吊装环 吊装座 定向轮 观察板 观察片 观察箱 卡接板 可转动 连接杆 连接座 万向轮 支撑杆 转动箱 挂接 观察 卡接 吸附 移动 加工
【主权项】:
1.一种便于移动的物理气相沉积装置,其特征在于,该便于移动的物理气相沉积装置包括气相沉积箱(1),电源控制箱(2),转动箱盖(3),密封圈(4),卡接板(5),可存放挂接移动板结构(6),可转动卡接吸附观察板结构(7),可插接防滑调节座结构(8),第一连接管(9),连接座(10),磁控管(11),第二连接管(12),吊装座(13),连接杆(14)和吊装环(15),所述的电源控制箱(2)螺栓连接在气相沉积箱(1)的左侧上部;所述的转动箱盖(3)合页连接在电源控制箱(2)的左侧;所述的密封圈(4)胶接在气相沉积箱(1)的右侧;所述的卡接板(5)螺钉连接在气相沉积箱(1)的上端右侧;所述的可存放挂接移动板结构(6)安装在气相沉积箱(1)的下端;所述的可转动卡接吸附观察板结构(7)安装在气相沉积箱(1)的右侧;所述的可插接防滑调节座结构(8)安装在气相沉积箱(1)的内部底端中间位置;所述的第一连接管(9)螺栓连接在连接座(10)的上端中间位置;所述的磁控管(11)螺栓连接在连接座(10)的下端;所述的第一连接管(9)的上端焊接在第二连接管(12);所述的吊装座(13)分焊接在气相沉积箱(1)的上端左右两侧;所述的连接杆(14)的下端分别螺纹连接在吊装座(13)的上端内部中间位置;所述的吊装环(15)分别焊机在连接杆(14)的上端;所述的可存放挂接移动板结构(6)包括移动板(61),定向轮(62),万向轮(63),牵引杆(64),挂接环(65)和存放桶(66),所述的定向轮(62)分别螺栓连接在移动板(61)的下端左侧;所述的万向轮(63)分别螺栓连接在移动板(61)的下端左侧;所述的牵引杆(64)螺栓连接在移动板(61)的上端左侧中间位置;所述的挂接环(65)贯穿牵引杆(64)的上端内部中间位置;所述的存放桶(66)螺栓连接在移动板(61)的上端左侧。/n
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