[实用新型]一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具有效
| 申请号： | 201920540844.3 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN209829751U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 李泓波;朱光宇;陈智慧;张正伟;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 富乐德科技发展(大连)有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 21235 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 盖小静 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市保税区*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具，属于百级吹扫保护治具领域。包括支架、固定盘和固定挂钩；所述支架上端两侧设有横梁，固定挂钩一侧弯折形成用于挂在横梁上的凹槽，固定挂钩另一侧设有用于连接固定盘的孔A，固定盘包括主体和主体两侧伸出的连接台，连接台上设置有用于连接固定挂钩的孔B，主体上设置固定孔，主体上还设置有搬运把手。本实用新型的有益效果是在使用时部品底部通过螺栓固定在固定盘上，固定盘通过固定挂钩使部品以倒置的状态挂在支架上，便于对部品进行全面的吹扫，并且在吹扫时部品不会掉落。 | ||
| 搜索关键词： | 固定挂钩 固定盘 部品 吹扫 支架 横梁 治具 半导体设备 本实用新型 连接固定盘 搬运把手 连接固定 螺栓固定 喷头部件 蚀刻装置 主体两侧 倒置 上端 固定孔 连接台 掉落 弯折 沉积 伸出 挂钩 | ||
【主权项】：
1.一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具，其特征在于，包括支架、固定盘(11)和固定挂钩(3)；所述支架上端两侧设有横梁(6)，固定挂钩(3)一侧弯折形成用于挂在横梁(6)上的凹槽，固定挂钩(3)另一侧设有用于连接固定盘(11)的孔A(4)，固定盘(11)包括主体和主体两侧伸出的连接台，连接台上设置有用于连接固定挂钩(3)的孔B，主体上设置固定孔(5)，主体上还设置有搬运把手(2)。/n
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