[实用新型]一种派瑞林彩色镀膜装置有效
申请号: | 201920538028.9 | 申请日: | 2019-04-19 |
公开(公告)号: | CN209873095U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 张卫兴;张振兴;庄丽叶;张荠文 | 申请(专利权)人: | 江苏可润光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448 |
代理公司: | 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种派瑞林彩色镀膜装置,属于化学气相沉积技术领域,包括:蒸发室、裂解室、真空沉积室、真空系统、冷却控制器以及管道,蒸发室、裂解室、真空沉积室及真空系统依次通过管道连通,冷却控制器与真空沉积室连接,真空沉积室上设有升华杯,升华杯上连接有仓外染料蒸发系统,或者,真空沉积室上安装有仓内染料蒸发系统。本实用新型解决了现有技术加工的镀膜材料不易检测的问题,同时成膜特点显现,彩色品种多样化,将彩色染料粉料升华均匀沉积在加工件上,可以清楚而直观的进行检测,该工艺简单、实用、成本低,实用性强,本工艺对各种加工产品均有明显彩色效果,同时具备派瑞林自身的保护效果。 | ||
搜索关键词: | 真空沉积室 本实用新型 冷却控制器 真空系统 蒸发系统 裂解室 派瑞林 蒸发室 染料 升华 化学气相沉积 彩色镀膜 彩色染料 彩色效果 镀膜材料 管道连通 技术加工 加工产品 均匀沉积 加工件 检测 成膜 粉料 直观 | ||
【主权项】:
1.一种派瑞林彩色镀膜装置,其特征在于,包括:蒸发室(1)、裂解室(2)、真空沉积室(3)、真空系统(5)、冷却控制器(6)以及管道(7),所述蒸发室(1)、所述裂解室(2)、所述真空沉积室(3)及真空系统(5)依次通过管道(7)连通,所述冷却控制器(6)与所述真空沉积室(3)连接,所述真空沉积室(3)上设有升华杯(4),所述升华杯(4)上连接有仓外染料蒸发系统,或者,所述真空沉积室(3)上安装有仓内染料蒸发系统。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏可润光电科技有限公司,未经江苏可润光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920538028.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种全包裹派瑞林镀膜装置
- 下一篇:一种用于管式PECVD的进气装置
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的