[实用新型]一种平面蒸发的坩埚装置有效
| 申请号： | 201920525000.1 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN209957884U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/26 |
| 代理公司： | 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 徐剑兵;林祥翔 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种平面蒸发的坩埚装置，包括坩埚本体、分散板和加热单元。在加热柱脚的加热空腔内添加蒸镀的材料，进而通过加热单元对加热柱脚进行加热，为了避免蒸镀的材料在坩埚本体内沉积，加热单元会对坩埚本体也进行加热。为了避免材料在出料口处发生堵孔的现象，在坩埚本体的顶面也安装加热单元，保持蒸镀出气体的温度。为了使得蒸发的气体均匀的有坩埚本体的多个出料口排出，在坩埚本体的内部安装有分散板，通过分散板使得蒸发的气体分散流动至出料口，使得每个出料口排出的气体量相同或相近，继而使得蒸镀的材料均匀沉积在坩埚本体出料口处的基板上，保证蒸镀的质量良好。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚本体 出料口 蒸镀 加热单元 加热 分散板 蒸发 排出 柱脚 本实用新型 加热空腔 均匀沉积 内部安装 气体分散 坩埚装置 气体量 顶面 堵孔 基板 坩埚 沉积 体内 流动 保证 | ||
【主权项】：
1.一种平面蒸发的坩埚装置，其特征在于：包括坩埚本体、分散板和加热单元；/n所述坩埚本体的底面可拆卸的设置有多个加热柱脚，所述加热柱脚设置有加热空腔，所述加热空腔的开口与坩埚本体的内腔相导通设置，所述坩埚本体的顶部设置有多个出料口；/n所述分散板设置在坩埚本体的内腔顶部，所述分散板用于对蒸发出的气体进行分散流动，所述加热单元设置在坩埚本体的外部侧面和/或顶面上，所述加热单元用于对坩埚本体进行加热和/或保持坩埚本体的温度。/n
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