[实用新型]一种平面蒸发的坩埚装置

说明书

本实用新型提供一种平面蒸发的坩埚装置，包括坩埚本体、分散板和加热单元。在加热柱脚的加热空腔内添加蒸镀的材料，进而通过加热单元对加热柱脚进行加热，为了避免蒸镀的材料在坩埚本体内沉积，加热单元会对坩埚本体也进行加热。为了避免材料在出料口处发生堵孔的现象，在坩埚本体的顶面也安装加热单元，保持蒸镀出气体的温度。为了使得蒸发的气体均匀的有坩埚本体的多个出料口排出，在坩埚本体的内部安装有分散板，通过分散板使得蒸发的气体分散流动至出料口，使得每个出料口排出的气体量相同或相近，继而使得蒸镀的材料均匀沉积在坩埚本体出料口处的基板上，保证蒸镀的质量良好。

技术领域

本实用新型涉及有机材料蒸镀的坩埚领域，尤其涉及一种平面蒸发的坩埚装置。

背景技术

有机发光二极管(英文名为：Organic Light-Emitting Diode，缩写为：OLED)作为新一代的显示技术，有着广阔的应用前景，目前已经广泛应用在手机、TV(电视机)以及平板电脑中。同时柔性OLED面板也在蓬勃发展中，且已经有柔性OLED产品面世。OLED通过将各种不同功能的材料蒸镀在基板上，形成发光结构。制备好的器件在电场的作用下，电子从有机半导体的阴极注入，空穴从有机半导体的阳极注入，空穴与电子在发光层复合发光。

OLED器件是由阴极、阳极以及夹在两者之间的不同功能的有机层构成，有机材料主要是通过真空蒸镀的方式成膜，即将有机材料加入坩埚中，在真空环境下加热升华或者气化，使其沉积在基板上，进而形成多层膜的OLED器件。

目前的坩埚主要为点源和线源两种。因为点源和线源的蒸镀范围有限，所以使得蒸镀的范围具有限制，因此基板在腔体内部相对于坩埚必须做相对运动(旋转或者平移)，以保证蒸镀薄膜有良好的均匀性。然而在真空腔内部设计旋转或者平移的机构，会使得设备结构的复杂性较高，且容易发生故障，其生产成本也较为高昂。

实用新型内容

为此，需要提供一种平面蒸发的坩埚装置，解决现有坩埚的蒸镀效果较差的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种平面蒸发的坩埚装置，包括坩埚本体、分散板和加热单元；所述坩埚本体的底面可拆卸的设置有多个加热柱脚，所述加热柱脚设置有加热空腔，所述加热空腔的开口与坩埚本体的内腔相导通设置，所述坩埚本体的顶部设置有多个出料口；所述分散板设置在坩埚本体的内腔顶部，所述分散板用于对蒸发出的气体进行分散流动，所述加热单元设置在坩埚本体的外部侧面和/或顶面上，所述加热单元用于对坩埚本体进行加热和/或保持坩埚本体的温度。

进一步地，所述分散板设置有多个分散通孔。

进一步地，所述出料口与分散通孔相互错开设置。

进一步地，所述加热单元包括柱脚加热丝和本体加热丝，所述柱脚加热丝用于在每个加热柱脚的外侧缠绕设置，所述本体加热丝缠绕设置在坩埚本体的外侧上。

进一步地，所述加热单元还包括加热板，所述加热板设置在坩埚本体的外侧顶面上，且多个所述出料口贯穿加热板设置。

区别于现有技术，上述技术方案坩埚本体的底部具有多个加热柱脚，而在坩埚本体的顶面则开设多个出料口。在加热柱脚的加热空腔内添加蒸镀的材料，进而通过加热单元对加热柱脚进行加热，为了避免蒸镀的材料在坩埚本体内沉积，加热单元会对坩埚本体也进行加热。为了避免材料在出料口处发生堵孔的现象，在坩埚本体的顶面也安装加热单元，保持蒸镀出气体的温度。为了使得蒸发的气体均匀的有坩埚本体的多个出料口排出，在坩埚本体的内部安装有分散板，通过分散板使得蒸发的气体分散流动至出料口，使得每个出料口排出的气体量相同或相近，继而使得蒸镀的材料均匀沉积在坩埚本体出料口处的基板上，保证蒸镀的质量良好。

附图说明

图1为具体实施方式所述的平面蒸发的坩埚装置的剖视图；

图2为具体实施方式所述的平面蒸发的坩埚装置的结构图；