[实用新型]一种平面蒸发的坩埚装置有效
| 申请号： | 201920525000.1 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN209957884U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/26 |
| 代理公司： | 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 徐剑兵;林祥翔 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚本体 出料口 蒸镀 加热单元 加热 分散板 蒸发 排出 柱脚 本实用新型 加热空腔 均匀沉积 内部安装 气体分散 坩埚装置 气体量 顶面 堵孔 基板 坩埚 沉积 体内 流动 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种平面蒸发的坩埚装置，其特征在于：包括坩埚本体、分散板和加热单元；
所述坩埚本体的底面可拆卸的设置有多个加热柱脚，所述加热柱脚设置有加热空腔，所述加热空腔的开口与坩埚本体的内腔相导通设置，所述坩埚本体的顶部设置有多个出料口；
所述分散板设置在坩埚本体的内腔顶部，所述分散板用于对蒸发出的气体进行分散流动，所述加热单元设置在坩埚本体的外部侧面和/或顶面上，所述加热单元用于对坩埚本体进行加热和/或保持坩埚本体的温度。
2.根据权利要求1所述的一种平面蒸发的坩埚装置，其特征在于：所述分散板设置有多个分散通孔。
3.根据权利要求2所述的一种平面蒸发的坩埚装置，其特征在于：所述出料口与分散通孔相互错开设置。
4.根据权利要求1所述的一种平面蒸发的坩埚装置，其特征在于：所述加热单元包括柱脚加热丝和本体加热丝，所述柱脚加热丝用于在每个加热柱脚的外侧缠绕设置，所述本体加热丝缠绕设置在坩埚本体的外侧上。
5.根据权利要求1所述的一种平面蒸发的坩埚装置，其特征在于：所述加热单元还包括加热板，所述加热板设置在坩埚本体的外侧顶面上，且多个所述出料口贯穿加热板设置。
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