[实用新型]一种真空镀膜溅射靶材镀穿警报装置有效
| 申请号： | 201920453567.2 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN210176939U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 马毅;黄先伟;宋宇轩;俞越翎;张泰华 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 310014 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜溅射靶材镀穿警报装置，其特征在于，包括金属固定座，所述金属固定座中心位置设有安装孔，所述安装孔内设有靶材、环形中空气压片及冷却水铜板，所述靶材、环形中空气压片及冷却水铜板依次叠加设置在安装孔内，所述环形中空气压片外接连管，所述连管端部设有气压指示器，并通过气压指示器实时测量环形中空气压片内部的气压。本实用新型的有益效果：设计巧妙，结构合理，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 溅射 靶材镀穿 警报 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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