[实用新型]一种用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘有效
| 申请号： | 201920400231.X | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN210001921U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 严长江;叶孟林;钱尼健 | 申请（专利权）人： | 宁波科田磁业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 31272 上海申新律师事务所 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 315000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，包括：托板；挡板，所述挡板设于所述托板的一侧的周壁上；加强板，所述加强板设于所述托板的另一侧，所述加强板上设有若干通孔。本实用新型采用托板与加强板固接双层组合的形式，提高了托盘强度，耐用不易变形，防止变形后磁钢翻料时出现磕碰和掉料，而且采用镂空的形式，减轻了托盘的重量。 | ||
| 搜索关键词： | 加强板 托板 托盘 本实用新型 挡板 磁控溅射镀膜 不易变形 双层组合 稀土永磁 镂空 磕碰 磁钢 掉料 翻料 固接 通孔 周壁 变形 | ||
【主权项】：
1.一种用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，其特征在于，包括：/n托板；/n挡板，所述挡板设于所述托板的一侧的周壁上；/n加强板，所述加强板设于所述托板的另一侧，所述加强板上设有若干通孔。/n
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