[实用新型]一种用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘有效
| 申请号： | 201920400231.X | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN210001921U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 严长江;叶孟林;钱尼健 | 申请（专利权）人： | 宁波科田磁业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 31272 上海申新律师事务所 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 315000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加强板 托板 托盘 本实用新型 挡板 磁控溅射镀膜 不易变形 双层组合 稀土永磁 镂空 磕碰 磁钢 掉料 翻料 固接 通孔 周壁 变形 | ||
1.一种用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，其特征在于，包括：
托板；
挡板，所述挡板设于所述托板的一侧的周壁上；
加强板，所述加强板设于所述托板的另一侧，所述加强板上设有若干通孔。
2.根据权利要求1所述用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，其特征在于，所述挡板通过螺钉与所述托板垂直固接，所述托板与所述加强板通过氩弧焊点焊接。
3.根据权利要求1所述用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，其特征在于，所述加强板包括：
若干第一直棒，若干所述第一直棒设于所述托板的另一侧的周壁上，若干所述第一直棒分别依次连接；
若干固接环，若干所述固接环位于若干所述第一直棒的内侧，若干所述固接环呈矩形阵列；
若干第二直棒，两相邻所述固接环分别通过一部分所述第二直棒固接，靠近若干所述第一直棒的若干所述固接环与若干所述第二直棒的内侧壁分别通过另一部分所述第二直棒固接。
4.根据权利要求3所述用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，其特征在于，相邻的所述第一直棒、所述第二直棒与所述固接环之间、相邻的所述第二直棒与所述固接环之间分别合围呈若干所述通孔。
5.根据权利要求3所述用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，其特征在于，所述第一直棒与所述第一直棒之间、所述第一直棒与所述第二直棒之间、所述第二直棒与所述固接环之间均通过氩弧焊焊接。
6.根据权利要求1所述用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，其特征在于，所述加强板包括：
若干第一直棒，若干所述第一直棒设于所述托板的另一侧的周壁上，若干所述第一直棒分别依次连接；
若干第二直棒，若干所述第二直棒分别相互固接，靠近若干所述第一直棒的内侧壁的若干所述第二直棒分别与若干所述第一直棒的内侧壁固接。
7.根据权利要求6所述用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，其特征在于，相邻的所述第一直棒与所述第二直棒之间、相邻的若干所述第二直棒之间分别合围成若干所述通孔。
8.根据权利要求1所述用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，其特征在于，若干所述通孔呈矩形阵列。
9.根据权利要求1所述用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，其特征在于，所述加强板包括：
若干第一直棒，若干所述第一直棒设于所述托板的另一侧的周壁上，若干所述第一直棒分别依次连接；
若干圆环，若干所述圆环位于若干所述第一直棒的内侧，若干所述圆环呈矩形阵列，两相邻所述圆环分别相互固接，靠近若干所述第一直棒的内侧壁的若干所述圆环分别与若干所述第一直棒的内侧壁固接。
10.根据权利要求9所述用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，其特征在于，相邻的所述第一直棒与所述圆环之间、若干所述圆环内和相邻的若干圆环之间分别形成有若干所述通孔。
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