[实用新型]一种用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘

说明书

本实用新型公开一种用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，包括：托板；挡板，所述挡板设于所述托板的一侧的周壁上；加强板，所述加强板设于所述托板的另一侧，所述加强板上设有若干通孔。本实用新型采用托板与加强板固接双层组合的形式，提高了托盘强度，耐用不易变形，防止变形后磁钢翻料时出现磕碰和掉料，而且采用镂空的形式，减轻了托盘的重量。

技术领域

本实用新型涉及稀土永磁制备的技术领域，尤其涉及一种用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘。

背景技术

钕铁硼永磁材料因其高的性能已广泛应用于电子信息、新能源电机、风力发电、医疗设备等领域。随着高新技术的不断发展以及对新材料要求的不断提高，对稀土永磁的磁能积以及矫顽力等提出了更高的要求。目前已经开发出了稀土永磁磁控溅射镀重稀土的方法来提高磁体矫顽力。

在对磁体进行磁控溅射镀膜时，磁体放于托盘上进行镀膜，完成一面后，通过两个托盘将磁体夹紧，并通过翻料装置实现磁体翻面，进行另一面的涂覆。

目前行业上主要采用钢板或者铝板制作托盘。磁控溅射镀膜过程会产生大量的热量，托盘受热退火，强度变低，容易变形。由于镀膜磁体较薄，通常在2-3mm左右，托盘变形后无法夹紧磁体，导致磕碰料或者掉料。为了减少托盘变形，钕铁硼生产厂家采用加厚托盘的形式，其增加了托盘的重量，且不利于操作。

发明内容

针对现有的磁控溅射镀膜用托盘受热退火后，强度低，易变形，无法夹紧磁体导致磕碰料或者掉料的上述问题，现旨在提供一种强度高、重量轻、耐用、不易变形的用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘。

具体技术方案如下：

一种用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，包括：

托板；

挡板，所述挡板设于所述托板的一侧的周壁上；

加强板，所述加强板设于所述托板的另一侧，所述加强板上设有若干通孔。

上述的用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，所述挡板通过螺钉与所述托板垂直固接，所述托板与所述加强板通过氩弧焊点焊接。

上述的用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，所述加强板包括：

若干第一直棒，若干所述第一直棒设于所述托板的另一侧的周壁上，若干所述第一直棒分别依次连接；

若干固接环，若干所述固接环位于所述若干所述第一直棒的内侧，若干所述固接环呈矩形阵列；

若干第二直棒，两相邻所述固接环通过一部分所述第二直棒固接，靠近若干所述第一直棒的若干所述固接环与若干所述第二直棒的内侧壁分别通过另一部分所述第二直棒固接。

上述的用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，相邻的所述第一直棒、所述第二直棒与所述固接环之间、相邻的所述第二直棒与所述固接环之间分别合围呈若干所述通孔。

上述的用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，所述第一直棒与所述第一直棒之间、所述第一直棒与所述第二直棒之间、所述第二直棒与所述固接环之间均通过氩弧焊焊接。

上述的用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，所述加强板包括：

若干第一直棒，若干所述第一直棒设于所述托板的另一侧的周壁上，若干所述第一直棒分别依次连接；

若干第二直棒，若干所述第二直棒分别相互固接，靠近若干所述第一直棒的内侧壁的若干所述第二直棒分别与若干所述第一直棒的内侧壁固接。

上述的用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，相邻的所述第一直棒与所述第二直棒之间、相邻的若干所述第二直棒之间分别合围成若干所述通孔。

上述的用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，若干所述通孔呈矩形阵列。