[实用新型]一种管式PECVD电极导电装置

摘要

本实用新型提供了一种管式PECVD电极导电装置，包括炉管，炉管内具有电极装置和石墨舟，电极装置包括正极电极杆和负极电极杆，电极杆尾端连接有射频电源，炉管内固定有两根陶瓷管，每根陶瓷管的两端分别固定有导电铜圈，陶瓷管其中一侧端部的导电铜圈与正极电极杆线路连接，陶瓷管另一侧端部的导电铜圈与负极电极杆线路连接；同侧的两个导电铜圈之间连接具有导电铜杆；正极电极杆通过对应侧导电铜杆与导电铜圈线路连接；负极电极杆通过侧导电铜杆与导电铜圈线路连接。本实用新型结构设计合理，改变石墨舟与电极的接触部位和导电方式，使镀膜更为均匀，同时避免电极杆因长期使用发生形变而导致接触异常，并且无需关注石墨舟正反，便于产线上下舟。

主权项

1.一种管式PECVD电极导电装置，包括炉管，所述炉管内具有电极装置和设置在炉管内待进行镀膜的石墨舟，其特征在于：所述的电极装置包括正极电极杆(1)和负极电极杆(2)，所述的正极电极杆(1)和负极电极杆(2)尾端分别连接有为电极杆供电的射频电源(3)，所述的炉管内还沿炉管长度方向固定有两根陶瓷管(4)，每根陶瓷管(4)的两端分别固定有导电铜圈(5)，位于两根陶瓷管(4)其中一侧端部的导电铜圈(5)与正极电极杆(1)线路连接，位于两根陶瓷管(4)另一侧端部的导电铜圈(5)与负极电极杆(2)线路连接；同侧的两个导电铜圈(5)之间连接具有导电铜杆(6)；所述的正极电极杆(1)通过对应侧导电铜杆(6)与导电铜圈(5)线路连接；所述负极电极杆(2)通过对应侧导电铜杆(6)与导电铜圈(5)线路连接。/n