[实用新型]部件松脱侦测装置有效
| 申请号： | 201920354019.4 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN210209958U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 汪康;田得暄;辛君;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种部件松脱侦测装置，包括：设有大气压接收端和贴合面侦测端的刚性管路，大气压接收端的海拔高度高于贴合面侦测端的海拔高度；用于覆盖并密封贴合面侦测端的柔性的贴合面软片；容纳于管路内的液体，至少浸没贴合面侦测端，液面位置位于管路内靠近大气压接收端的一侧，且海拔高度高于贴合面侦测端的海拔高度；用于实时侦测并显示液面位置变化状态的液位侦测模块。本实用新型通过设置贴合面侦测端，对相互贴合安装的部件的贴合面进行实时侦测，在贴合面出现松脱时及时报警，从而避免了因抛光垫修整盘异常脱落而导致的机台部件损坏或晶圆报废的问题，具有灵敏度高、可靠性好、侦测端耐潮湿腐蚀环境且不受电磁干扰的显著优势。 | ||
| 搜索关键词： | 部件 侦测 装置 | ||
【主权项】：
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