[实用新型]立式晶圆托运盒有效
申请号: | 201920342866.9 | 申请日: | 2019-03-18 |
公开(公告)号: | CN209757886U | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 刘春峰;李刚 | 申请(专利权)人: | 荣耀电子材料(重庆)有限公司 |
主分类号: | B65D25/10 | 分类号: | B65D25/10;B65D25/02;B65D85/00 |
代理公司: | 44101 深圳市中知专利商标代理有限公司 | 代理人: | 张学群;檀林清 |
地址: | 402460 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本实用新型提供一种立式晶圆托运盒,包括上盖、片架、底盖,所述片架的两个相对的片架侧壁的相对面设有若干间距排布的用于插置晶圆的插槽,所述片架放置于底盖内,所述上盖扣接盖设于所述底盖的上方;所述上盖的内侧面中心设有与晶圆顶部形状适配的弧形部,所述弧形部的平行于晶圆中心轴线的两个侧边分别设有若干间距排布的悬臂弹片,所述悬臂弹片的一端固定在所述上盖的内侧面,其另一端为向晶圆中心水平延伸的自由端,所述自由端的端部的下表面设有向下的用于夹持和稳定晶圆上部的U型支撑槽,所述U型支撑槽与所述插槽一一对应。本实用新型具有结构简单、安装方便、节约成本、减少卡片现象的特点。 | ||
搜索关键词: | 片架 上盖 底盖 晶圆 本实用新型 间距排布 晶圆中心 悬臂弹片 弧形部 插槽 安装方便 晶圆顶部 卡片现象 形状适配 侧面 下表面 相对面 自由端 侧壁 侧边 插置 盖设 夹持 扣接 托运 平行 节约 自由 | ||
【主权项】:
1.一种立式晶圆托运盒,其特征在于:包括上盖(10)、片架(20)、底盖(30),所述片架(20)的两个相对的片架侧壁(21)的相对面设有若干间距排布的用于插置晶圆的插槽(211),所述片架(20)放置于底盖(30)内,所述上盖(10)扣接盖设于所述底盖(30)的上方;所述上盖(10)的内侧面中心设有与晶圆顶部形状适配的弧形部,所述弧形部的平行于晶圆中心轴线的两个侧边分别设有若干间距排布的悬臂弹片(12),所述悬臂弹片(12)的一端固定在所述上盖(10)的内侧面,其另一端为向晶圆中心水平延伸的自由端,所述自由端的端部的下表面设有向下的用于夹持和稳定晶圆上部的U型支撑槽(121),所述U型支撑槽(121)与所述插槽(211)一一对应。/n
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