[实用新型]立式晶圆托运盒

权利要求书

1.一种立式晶圆托运盒，其特征在于：包括上盖(10)、片架(20)、底盖(30)，所述片架(20)的两个相对的片架侧壁(21)的相对面设有若干间距排布的用于插置晶圆的插槽(211)，所述片架(20)放置于底盖(30)内，所述上盖(10)扣接盖设于所述底盖(30)的上方；所述上盖(10)的内侧面中心设有与晶圆顶部形状适配的弧形部，所述弧形部的平行于晶圆中心轴线的两个侧边分别设有若干间距排布的悬臂弹片(12)，所述悬臂弹片(12)的一端固定在所述上盖(10)的内侧面，其另一端为向晶圆中心水平延伸的自由端，所述自由端的端部的下表面设有向下的用于夹持和稳定晶圆上部的U型支撑槽(121)，所述U型支撑槽(121)与所述插槽(211)一一对应。

2.根据权利要求1所述的一种立式晶圆托运盒，其特征在于：所述弧形部为上盖(10)顶面向上凸起的弧形板(111)。

3.根据权利要求1所述的一种立式晶圆托运盒，其特征在于：所述插槽(211)的底部区域具有曲率形成用于承接晶圆下部形状的弧形段(211a)。

4.根据权利要求3所述的一种立式晶圆托运盒，其特征在于：所述底盖(30)的两个相对底盖侧壁(31)上设有向中心凸起的用于与所述片架侧壁(21)的弧形段(211a)相附接的附接结构(311)。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种立式晶圆托运盒，其特征在于：所述插槽(211)为槽底较窄、槽口较宽的形状。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的一种立式晶圆托运盒，其特征在于：所述片架侧壁(21)的底端面设有V型的定位槽(214)，所述底盖(30)的底面(32)设有定位凸起(322)，所述定位凸起(322)适配插置于定位槽(214)内。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的一种立式晶圆托运盒，其特征在于：所述上盖(10)的顶面设有若干凸面(112)，所述底盖(30)的底面设有若干与所述凸面(112)适配的凹面(323)。