[实用新型]冷阱灌液氮装置及冷阱有效
| 申请号： | 201920305688.2 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN209645884U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王志达;邵旭;袁守良 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D8/00 | 分类号： | B01D8/00 |
| 代理公司： | 11371 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 肖苏宸<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 132013 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体加工工艺的冷却设备技术领域，公开了一种冷阱灌液氮装置及冷阱，具体的，冷阱灌液氮装置包括漏斗、气液分离器、三通阀以及回流水管；三通阀的三个阀口分别为高位阀口、中位阀口以及低位阀口，高位阀口与漏斗的出口连通，中位阀口与气液分离器连通，低位阀口与回流水管连通。本实用新型避免了灌装液氮时，液氮将冷凝水冻成冰，堵住气液分离器的情况，保证了气液分离器的正常运行。 | ||
| 搜索关键词： | 气液分离器 阀口 冷阱 连通 本实用新型 低位阀口 高位阀口 回流水管 液氮装置 三通阀 液氮 中位 漏斗 半导体加工工艺 冷却设备 冷凝水 灌装 堵住 出口 保证 | ||
【主权项】：
1.一种冷阱灌液氮装置，其特征在于，所述灌液氮装置包括漏斗、气液分离器、三通阀以及回流水管；/n所述三通阀的三个阀口分别为高位阀口、中位阀口以及低位阀口，所述高位阀口与所述漏斗的出口连通，所述中位阀口与所述气液分离器连通，所述低位阀口与所述回流水管连通；/n所述气液分离器的设置高度低于所述漏斗的出口位置，所述回流水管的设置高度低于所述气液分离器的设置高度；所述气液分离器能够与冷阱连通；/n向冷阱内灌装液氮时，高位阀口、中位阀口打开，低位阀口关闭；冷阱液氮灌装完成时，中位阀口、低位阀口打开，冷凝水通过中位阀口、低位阀口流入所述回流水管。/n
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