[实用新型]冷阱灌液氮装置及冷阱有效
申请号: | 201920305688.2 | 申请日: | 2019-03-11 |
公开(公告)号: | CN209645884U | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 王志达;邵旭;袁守良 | 申请(专利权)人: | 吉林华微电子股份有限公司 |
主分类号: | B01D8/00 | 分类号: | B01D8/00 |
代理公司: | 11371 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 肖苏宸<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 132013 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气液分离器 阀口 冷阱 连通 本实用新型 低位阀口 高位阀口 回流水管 液氮装置 三通阀 液氮 中位 漏斗 半导体加工工艺 冷却设备 冷凝水 灌装 堵住 出口 保证 | ||
1.一种冷阱灌液氮装置,其特征在于,所述灌液氮装置包括漏斗、气液分离器、三通阀以及回流水管;
所述三通阀的三个阀口分别为高位阀口、中位阀口以及低位阀口,所述高位阀口与所述漏斗的出口连通,所述中位阀口与所述气液分离器连通,所述低位阀口与所述回流水管连通;
所述气液分离器的设置高度低于所述漏斗的出口位置,所述回流水管的设置高度低于所述气液分离器的设置高度;所述气液分离器能够与冷阱连通;
向冷阱内灌装液氮时,高位阀口、中位阀口打开,低位阀口关闭;冷阱液氮灌装完成时,中位阀口、低位阀口打开,冷凝水通过中位阀口、低位阀口流入所述回流水管。
2.根据权利要求1所述的冷阱灌液氮装置,其特征在于,所述灌液氮装置还包括液氮法兰,所述气液分离器通过液氮法兰与所述冷阱连通并固定。
3.根据权利要求1或2所述的冷阱灌液氮装置,其特征在于,所述灌液氮装置还包括排气管,所述排气管与所述气液分离器连通。
4.根据权利要求3所述的冷阱灌液氮装置,其特征在于,所述排气管远离所述气液分离器的一端连接有弯头,所述弯头的出气口的朝向避开灌装液氮时的操作位。
5.根据权利要求1或2所述的冷阱灌液氮装置,其特征在于,所述漏斗包括柱形段和连接在所述柱形段下部的倒锥形段;所述漏斗的进口设置在所述柱形段的顶部,所述漏斗的出口设置在所述倒锥形段的底部顶角位置。
6.根据权利要求5所述的冷阱灌液氮装置,其特征在于,所述柱形段的顶部对应所述漏斗的进口设置有旋转盖,所述旋转盖上设置有缺口;
所述旋转盖能够绕垂直于漏斗轴向的转轴转动,所述旋转盖转动到所述缺口与所述柱形段的侧壁对接时,所述漏斗的进口打开。
7.根据权利要求1或2所述的冷阱灌液氮装置,其特征在于,所述漏斗内设置有过滤网。
8.根据权利要求1或2所述的冷阱灌液氮装置,其特征在于,所述漏斗内设置有向下倾斜的隔板,所述隔板的上端与所述漏斗的一侧侧壁连接,且所述隔板的下端与漏斗的侧壁间隔设置。
9.根据权利要求1或2所述的冷阱灌液氮装置,其特征在于,所述漏斗的侧壁的外周上设置有固定板。
10.一种冷阱,其特征在于,所述冷阱上设置有权利要求1-9任一项所述的冷阱灌液氮装置。
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