[实用新型]一种新型真空磁控溅射镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种新型真空磁控溅射镀膜机，包括壳体，所述壳体的开口处通过阻尼铰链活动安装有密封门，所述密封门的边侧固定安装有密封条，所述密封门的外侧固定安装有门把，所述密封门上固定安装有观察窗，所述壳体的外侧固定安装有PLC控制器，且排气口延伸至壳体内部，并且排气口上固定安装有阀门，所述壳体通过粉末导管与粉末导入装置相互连接。该新型真空磁控溅射镀膜机，采用双开密封门，在密封门之间设置有密封条，提高整体的密封性，在壳体内部设置有旋转台，在镀膜过程中，通过驱动电机带动旋转台旋转，镀膜更加均匀，同时旋转台上设置有可调节的连接杆，能够根据工件的大小对连接杆之间的间距进行调节。