[实用新型]带风干功能的智能芯片生产用清洗装置有效
| 申请号： | 201920254089.2 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN209663875U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 王宝江;闫炳桦;周妙然 | 申请（专利权）人： | 重庆小马智诚科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;F26B21/00 |
| 代理公司： | 50241 重庆双马智翔专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 方洪<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 401120 重庆市北部新*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及智能芯片制造技术领域，公开了一种带风干功能的智能芯片生产用清洗装置，包括清洗箱，清洗箱内安装有放置晶圆的网板；还包括与清洗箱连通的气源，以及使清洗箱横向运动的驱动机构，气源提供的气体从网板的下方向上运动。驱动机构使清洗箱横向运动，使得清洗箱内的晶圆翻动，达到均匀清洗的目的；清洗箱横向运动使气体在清洗箱内不规则运动，以搅拌清洗箱内的清洗液，使清洗液与晶圆表面接触更充分，清洗完毕后气体还可以风干晶圆表面残留的液体。本方案不仅能全方位、有效地清洗多组晶圆表面，清洗后还可风干晶圆表面，并且还能适应不同规格的晶圆表面清洗工作，适应范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 晶圆表面 清洗箱 风干 驱动机构 智能芯片 清洗液 晶圆 网板 本实用新型 不规则运动 有效地清洗 气源提供 清洗装置 向上运动 翻动 气源 连通 残留 制造 生产 | ||
【主权项】：
1.带风干功能的智能芯片生产用清洗装置，包括清洗箱，清洗箱上设有至少一个溶液输入口，清洗箱内安装有放置晶圆的网板；其特征在于，所述网板固定或者可带动晶圆运动，该清洗装置还包括与清洗箱连通的气源和/或使清洗箱横向运动的驱动机构，所述气源提供的气体从网板的一侧向另一侧运动。/n
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