[实用新型]一种基于新型MIM布拉格光栅的温度传感器有效
| 申请号： | 201920247419.5 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN209470789U | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 王各;朱君 | 申请（专利权）人： | 广西师范大学 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 刘梅芳 |
| 地址： | 541004 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于新型MIM布拉格光栅的温度传感器，其特征是，包括自下而上顺序叠接的基底层1和金属层2，所述的金属层2的中部设有纳米腔3，纳米腔3的两个长边界线呈对称的S状，纳米腔3中设有感温介质，金属层2和纳米腔3构成新型MIM布拉格光栅。这种传感器不仅体积小、响应快、制备过程简单，而且还能提高灵敏度和Q值、减少半高全宽，从而实现生物、医学检测领域的纳米级传感。 | ||
| 搜索关键词： | 布拉格光栅 金属层 温度传感器 本实用新型 感温介质 医学检测 制备过程 灵敏度 基底层 纳米级 体积小 边界线 传感器 传感 叠接 对称 响应 | ||
【主权项】：
1.一种基于新型MIM布拉格光栅的温度传感器，其特征是，包括自下而上顺序叠接的基底层（1）和金属层（2），所述的金属层（2）的中部设有纳米腔（3），纳米腔（3）的两个长边界线呈对称的S状，纳米腔（3）中设有感温介质，金属层（2）和纳米腔（3）构成新型MIM布拉格光栅。
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