[实用新型]一种分体台式等离子体真空净化器有效
| 申请号： | 201920243545.3 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN210187920U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 杜利娟 | 申请（专利权）人： | 郑州宸通机械设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 何祖斌 |
| 地址： | 450000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种分体台式等离子体真空净化器，包括等离子体发生器和抽真空泵；等离子体发生器上设置有输气管，抽真空泵上设置有抽气管；还包括若干个相同的真空室；任一所述真空室均能够可拆卸地接入输气管与抽气管之间，以使等离子体气流能流经真空室内部空间；所述输气管上设置有压力降由所述等离子体发生器指向输气管末端且可调控的减压阀。通过分体式设计，以真空室可替换的方案，避免了等离子体发生器的频繁重复启停，有效减缓等离子体发生器的衰老，提高了设备的使用寿命；多批次净化处理过程中，等离子体气源无不稳定状态，处理工艺稳定可靠，且无停止后需预热稳定的过程，处理效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分体 台式 等离子体 真空 净化器 | ||
【主权项】：
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