[实用新型]一种分体台式等离子体真空净化器

说明书

本实用新型涉及一种分体台式等离子体真空净化器，包括等离子体发生器和抽真空泵；等离子体发生器上设置有输气管，抽真空泵上设置有抽气管；还包括若干个相同的真空室；任一所述真空室均能够可拆卸地接入输气管与抽气管之间，以使等离子体气流能流经真空室内部空间；所述输气管上设置有压力降由所述等离子体发生器指向输气管末端且可调控的减压阀。通过分体式设计，以真空室可替换的方案，避免了等离子体发生器的频繁重复启停，有效减缓等离子体发生器的衰老，提高了设备的使用寿命；多批次净化处理过程中，等离子体气源无不稳定状态，处理工艺稳定可靠，且无停止后需预热稳定的过程，处理效率高。

技术领域

本实用新型涉及真空等离子净化设备领域，具体涉及一种分体台式等离子体真空净化器。

背景技术

一般的，真空等离子体清洗净化(清洗)工艺，是指在真空腔体内，通过电极或无极灯，在一定的压力条件下产生高能量的无需等离子流体，并通过等离子流体轰击被清洗物体的表面，以达到清洗目体的一种等离子体表面处理工艺。

因为等离子体中包含大量如离子、电子、活性基团、激发态核素等高能活性物质，因此能够对被清洗物体表面的附着物进行分解、分离，进而达到表面清洗的目的。由于其清洗过程具有无需干燥、绿色无污染、效率高、对处理对象要求低等众多优点，且在完成表面清洗的同时，还能有效改善物体材料本身的表面性能，而被广泛应用于科研和工业生产中。尤其是在半导体、塑料、医疗器械清洁等领域，真空等离子体净化清洗工艺在材料表面清洁和表面改性上发挥着举足轻重的作用。

现有的真空等离子净化器，按单次处理能力的大小(即真空腔或真空室的大小)，通常可以被设计成台式和柜式两种规格。其中，由于使用更为便捷成本相对较低、设备体积小而便于布置和管理等因素，台式设备的应用更为普遍。

目前市面上在售的台式真空等离子净化器，为了便于运输和销售，通常将等离子体发生设备和真空腔室进行集成设计。但是，由于等离子体发生设备本身属于高能释放设备，其从启动到稳定工作需要一定的间隔时间，而现有台式真空等离子净化器真空腔体积容量有限，在真空条件下处理大量物件时多为间歇式工作，等离子体发生设备常见反复启停的工况状态；一方面，高能释放部件的反复启停，部件易出现加速老化，导致设备使用寿命严重衰减；另一方面，断续工作，导致处理效率过低，时间成本过高。

实用新型内容

本实用新型提供了一种分体台式等离子体真空净化器，基于已有的等离子发生设备和真空腔室，进行了分体式设计，使得等离子体发生设备能够在单次启停的工况下，实现多批次物体在真空状态下的表面净化处理，解决了现有一体化设计的台式等离子体真空净化器处理效率低、等离子发生部件反复启停导致设备加速老化的问题。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种分体台式等离子体真空净化器，包括等离子体发生器和抽真空泵；等离子体发生器上设置有输气管，抽真空泵上设置有抽气管；还包括若干个相同的真空室；任一所述真空室均能够可拆卸地接入输气管与抽气管之间，以使等离子体气流能流经真空室内部空间；所述输气管上设置有压力降由所述等离子体发生器指向输气管末端且可调控的减压阀。

进一步的，所述输气管与所述等离子体发生器的用于等离子体气流输出的出气端固定连接且连通。

进一步的，所述抽气管与所述抽真空泵的用于吸入气体的吸气端固定连接且连通。

进一步的，所述真空室为一长方体状且内部带有空腔的箱体；所述箱体的前方侧壁上设置有用于连通箱体内外的开口，且所述开口上设置有可开闭的密封门；所述箱体的顶部设置有与箱体内部连通且用于与抽气管连接的的出气管，所述箱体的除前方的一侧壁上设置有与箱体内部连通且用于与输气管连接的进气管。

更进一步的，所述箱体的箱壁为三层，由内至外分别为隔离层、减震层和防护层；所述隔离层由石英或硼化玻璃制成，所述减震层由石棉制成，所述防护层由铝材或钢材制成。