[实用新型]一种分体台式等离子体真空净化器

权利要求书

1.一种分体台式等离子体真空净化器，包括等离子体发生器(1)和抽真空泵(10)；等离子体发生器(1)上设置有输气管(2)，抽真空泵(10)上设置有抽气管(9)；其特征在于：还包括若干个相同的真空室(7)；任一所述真空室(7)均能够可拆卸地接入输气管(2)与抽气管(9)之间，以使等离子体气流能流经真空室(7)内部空间；所述输气管(2)上设置有压力降由所述等离子体发生器(1)指向输气管(2)末端且可调控的减压阀(4)。

2.根据权利要求1所述的一种分体台式等离子体真空净化器，其特征在于：所述输气管(2)与所述等离子体发生器(1)的用于等离子体气流输出的出气端固定连接且连通。

3.根据权利要求1所述的一种分体台式等离子体真空净化器，其特征在于：所述抽气管(9)与所述抽真空泵(10)的用于吸入气体的吸气端固定连接且连通。

4.根据权利要求1所述的一种分体台式等离子体真空净化器，其特征在于：所述真空室(7)为一长方体状且内部带有空腔的箱体；所述箱体的前方侧壁上设置有用于连通箱体内外的开口，且所述开口上设置有可开闭的密封门(8)；所述箱体的顶部设置有与箱体内部连通且用于与抽气管(9)连接的出气管(6)，所述箱体的除前方的一侧壁上设置有与箱体内部连通且用于与输气管(2)连接的进气管(5)。

5.根据权利要求4所述的一种分体台式等离子体真空净化器，其特征在于：所述箱体的箱壁为三层，由内至外分别为隔离层、减震层和防护层；所述隔离层由石英或硼化玻璃制成，所述减震层由石棉制成，所述防护层由铝材或钢材制成。

6.根据权利要求4所述的一种分体台式等离子体真空净化器，其特征在于：所述输气管(2)与所述进气管(5)之间、所述抽气管(9)与所述出气管(6)之间均通过螺纹活接头可拆卸地固定连接。

7.根据权利要求1～6任一项所述的一种分体台式等离子体真空净化器，其特征在于：所述输气管(2)上还设置有用于控制输气管(2)道通断的控制阀(3)。

8.根据权利要求7所述的一种分体台式等离子体真空净化器，其特征在于：所述控制阀(3)设置于所述输气管(2)位于所述等离子体发生器(1)和所述减压阀(4)之间的管道上。