[实用新型]晶圆处理设备有效
| 申请号： | 201920241821.2 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN210160054U | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 张杰真;刘命江;方桂芹 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/12;B08B13/00;F26B21/00;F26B21/14 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆处理设备，所述晶圆处理设备包括机械手和机械手清洗装置，所述机械手清洗装置包括：清洗容器，所述清洗容器具有一允许机械手进出的开口；供气单元，包括至少一个气体输入端和至少一个气体输出端，分别连通至所述清洗容器，所述气体输入端用于向所述清洗容器内通入气体，所述气体输出端用于排出所述清洗容器内的气体；供液单元，包括至少一个液体输入端和至少一个液体输出端，分别连通至所述清洗容器，所述液体输入端用于向所述清洗容器内通入液体，所述液体输出端用于排出所述清洗容器内的液体。上述晶圆处理设备的机械手清洗装置能够及时去除机械手上的污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 设备 | ||
【主权项】：
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