[实用新型]一种弧形工件激光直写曝光机的工件驱动装置有效
| 申请号： | 201920236498.X | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN209590535U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 陈国军;宁震坤;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 钧迪智能装备科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人： | 李宏伟 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种弧形工件激光直写曝光机的工件驱动装置，包括机架，机架上设置有安装平台，安装平台上安装有支座，该支座上摆动安装有摆架，该摆架由摆动动力装置驱动摆动，摆架的下端安装有柱面座体，该柱面座体上具有一个内凹的吸附面，该吸附面为圆柱面，柱面座体的摆动中心为圆柱面的中心轴，柱面座体上设置有负压抽吸腔，该负压抽吸腔与负压装置连通，吸附面上设置有若干个与负压抽吸腔连通的吸气孔，柱面座体的一端设置有用于校准激光直写曝光机的DMD曝光镜头的校准相机。该工件驱动装置可以吸附弧形工件并带动弧形工件绕中心轴摆动，这样可以减少DMD曝光镜头的动作，使曝光动作更加可靠，为在弧形面上的曝光提供了条件。 | ||
| 搜索关键词： | 柱面 座体 弧形工件 工件驱动装置 负压抽吸腔 激光直写 曝光机 摆动 摆架 安装平台 曝光镜头 校准 吸附面 中心轴 吸附 连通 摆动动力装置 本实用新型 摆动中心 负压装置 曝光动作 一端设置 吸气孔 圆柱面 内凹 下端 相机 驱动 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种弧形工件激光直写曝光机的工件驱动装置，包括机架，所述机架上设置有安装平台，其特征在于：所述安装平台上安装有支座，该支座上摆动安装有摆架，该摆架由摆动动力装置驱动摆动，所述摆架的下端安装有柱面座体，该柱面座体上具有一个内凹的吸附面，该吸附面为圆柱面，柱面座体的摆动中心为圆柱面的中心轴，所述柱面座体上设置有负压抽吸腔，该负压抽吸腔与负压装置连通，所述吸附面上设置有若干个与负压抽吸腔连通的吸气孔，所述柱面座体的一端设置有用于校准激光直写曝光机的DMD曝光镜头的校准相机。
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