[实用新型]一种无掩膜光刻机的激光均匀性调制装置有效
| 申请号： | 201920206574.2 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN209248251U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 薛荣 | 申请（专利权）人： | 麦佧仕光电科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人： | 丁国勇 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种无掩膜光刻机的激光均匀性调制装置，属于光刻机领域，其技术方案要点是，一种无掩膜光刻机的激光均匀性调制装置，包括激光调节头和调节手柄，所述激光调节头的输出端连接有激光传输头，所述激光传输头的输出端连接有聚焦头；通过温度传感器可实时监测激光传输头的温度，在进行光刻时，高压气体始终作用在光刻部位，高压气体将光刻部位表面的灰尘吹离，使得光刻的精度及质量进一步提高，同时高压气体通过连接管输送至冷却管，通过冷却管对激光传输头进行持续降温，且高压气体通过环形管上的气体喷口喷出，可将激光雕刻产生的烟尘吹离，保证激光的通过性，降低激光能量的损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 高压气体 激光传输 光刻机 光刻 调制装置 均匀性 激光 掩膜 输出端连接 激光调节 冷却管 技术方案要点 本实用新型 温度传感器 手柄 部位表面 激光雕刻 激光能量 气体喷口 实时监测 环形管 聚焦头 连接管 通过性 喷出 烟尘 保证 | ||
【主权项】：
1.一种无掩膜光刻机的激光均匀性调制装置，包括激光调节头(1)和调节手柄(2)，所述激光调节头(1)的输出端连接有激光传输头(11)，所述激光传输头(11)的输出端连接有聚焦头(12)，所述调节手柄(2)连接于所述激光传输头(11)的侧壁，其特征在于：所述激光调节头(1)上还设有温度传感器(3)和连接座(4)，所述温度传感器(3)固定连接于所述激光传输头(11)的外壁，所述连接座(4)固定连接于所述激光调节头(1)的外壁，所述连接座(4)的出气端固定连接有输送管(41)，所述输送管(41)的另一端固定连接有高速喷头(42)，所述连接座(4)的出气端固定连接有连接管(43)，所述激光传输头(11)的夹层内绕设有冷却管(44)，所述连接管(43)与所述冷却管(44)的一端固定连接，所述激光传输头(11)的外壁底端固定连接有环形管(45)，所述冷却管(44)的出气端与所述环形管(45)的进气端固定连接，所述温度传感器(3)与光刻机控制器信号连接，所述温度传感器(3)与外部电源电性连接。
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