[实用新型]一种防止晶舟位置偏移的定位装置有效
| 申请号： | 201920205392.3 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN209698935U | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 林金炜;许哲维 | 申请（专利权）人： | 福建省福联集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/02 | 分类号： | B25B11/02 |
| 代理公司： | 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 351117 福建省莆*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种防止晶舟位置偏移的定位装置，在定位板上安装第一棱角定位块、第二棱角定位块、第一U型复位块和第二U型复位块，通过第一棱角定位块和第二棱角定位块对晶舟的前端的两个棱角进行定位，再使用固定扣固定晶舟棱角处的凸起与第一棱角定位块上，使得晶舟无法向上翘起；并且使用固定件对晶舟另一棱角处的槽孔进行固定，使得晶舟无法左右移动。而为晶舟后端的两个背板上安装有第一U型复位块和第二U型复位块，当晶舟被机械手臂放入晶圆发生前后移动时，通过第一U型复位块和第二U型复位块内的复位弹簧，使得晶舟回位保持在原先的位置，避免机械手臂下次再放入晶圆时，由于晶舟的偏移导致晶圆破损，提高晶舟的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶舟 复位块 棱角 定位块 晶圆 机械手臂 棱角处 放入 本实用新型 定位装置 复位弹簧 工作效率 前后移动 位置偏移 向上翘起 左右移动 定位板 固定件 固定扣 再使用 偏移 背板 槽孔 凸起 破损 | ||
【主权项】：
1.一种防止晶舟位置偏移的定位装置，其特征在于：包括定位板、第一棱角定位块、第二棱角定位块、第一U型复位块和第二U型复位块；/n所述第一棱角定位块设置在定位板上，所述第二棱角定位块的内拐角朝向第一棱角定位块的内拐角设置在定位板上，所述第一U型复位块的槽口朝向第一棱角定位块的内拐角或和/或第二棱角定位块的内拐角设置在定位板上，所述第二U型复位块的槽口朝向第一棱角定位块的内拐角或和/或第二棱角定位块的内拐角设置在定位板上，且第一U型复位块和第二U型复位块的槽口底面位于同一个垂直面设置；/n所述第一棱角定位块设置有固定扣，且所述固定扣位于第一棱角定位块朝向第二棱角定位块的端面上，所述第二棱角定位块设置有固定件，且所述固定件位于第二棱角定位块朝向第一U型复位块和/或第二U型复位块的端面上，所述第一U型复位块和第二U型复位块的槽口底面上都设置有复位弹簧。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建省福联集成电路有限公司，未经福建省福联集成电路有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920205392.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可伸缩定位装置
- 下一篇：一种不锈钢加工设备装配校准稳定架
