[实用新型]一种防止晶舟位置偏移的定位装置

说明书

本实用新型提供一种防止晶舟位置偏移的定位装置，在定位板上安装第一棱角定位块、第二棱角定位块、第一U型复位块和第二U型复位块，通过第一棱角定位块和第二棱角定位块对晶舟的前端的两个棱角进行定位，再使用固定扣固定晶舟棱角处的凸起与第一棱角定位块上，使得晶舟无法向上翘起；并且使用固定件对晶舟另一棱角处的槽孔进行固定，使得晶舟无法左右移动。而为晶舟后端的两个背板上安装有第一U型复位块和第二U型复位块，当晶舟被机械手臂放入晶圆发生前后移动时，通过第一U型复位块和第二U型复位块内的复位弹簧，使得晶舟回位保持在原先的位置，避免机械手臂下次再放入晶圆时，由于晶舟的偏移导致晶圆破损，提高晶舟的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及晶舟装置领域，尤其涉及一种防止晶舟位置偏移的定位装置。

背景技术

型号为Hitachi CDSem机台在半导体行业中用于纳米尺度的测量。该机台配备有晶圆自动装卸系统，而该系统通过控制机械手臂的移动来实现晶圆在量测单元和晶舟之间的传送。晶圆自动装卸系统配备OF(Orientation Flat：定向平面)寻边装置，该装置可以寻找晶圆的边缘标记，使晶圆以相同的角度进入量测单元。当OF寻边装置在寻找晶圆边缘标记，且因为晶圆的位置不佳而寻边失败时，会导致晶圆在机械手臂上的位置发生偏移。因此，机械手臂会将该寻边失败的晶圆传送回晶舟，加之因为晶圆位置的偏移而造成晶舟位置的移动，从而造成晶圆的划伤甚至破裂，使得生产成本增加，且工作效率较低。

实用新型内容

为此，需要提供一种防止晶舟位置偏移的定位装置，解决现有晶舟定位装置容易发生偏移，使得晶圆破损的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种防止晶舟位置偏移的定位装置，包括定位板、第一棱角定位块、第二棱角定位块、第一U型复位块和第二U型复位块；所述第一棱角定位块设置在定位板上，所述第二棱角定位块的内拐角朝向第一棱角定位块的内拐角设置在定位板上，所述第一U型复位块的槽口朝向第一棱角定位块的内拐角或和/或第二棱角定位块的内拐角设置在定位板上，所述第二U型复位块的槽口朝向第一棱角定位块的内拐角或和/或第二棱角定位块的内拐角设置在定位板上，且第一U型复位块和第二U型复位块的槽口底面位于同一个垂直面设置；所述第一棱角定位块设置有固定扣，且所述固定扣位于第一棱角定位块朝向第二棱角定位块的端面上，所述第二棱角定位块设置有固定件，且所述固定件位于第二棱角定位块朝向第一U型复位块和/或第二U型复位块的端面上，所述第一U型复位块和第二U型复位块的槽口底面上都设置有复位弹簧。

进一步地，所述固定扣包括卡扣和固定块，所述固定块设置有凹槽，固定块设置在第一棱角定位块朝向第二棱角定位块的端面上，卡扣设置在第一棱角定位块或第二棱角定位块的顶面上，所述卡扣用于和凹槽配合装夹晶舟棱角处的凸起。

进一步地，所述固定件包括放置块和滑动插销，所述放置块设置在第二棱角定位块朝向第一U型复位块和/或第二U型复位块的端面上，滑动插销设置在放置块的顶面上，且所述滑动插销位于用于与晶舟的另一棱角处的槽孔配合固定。

进一步地，所述第一U型复位块还设置有调节螺丝，所述复位弹簧的一端设置在调节螺丝上，所述调节螺丝设置在第一U型复位块的顶面底部，所述第二U型复位块与第一U型复位块相同结构设置。

进一步地，所述第一棱角定位块的内拐角与第二棱角定位块的内拐角相对的侧面相互平行设置，且第一棱角定位块的内拐角的另一侧面与第二棱角定位块的内拐角的另一侧面位于同一个垂直面上。

进一步地，所述第一棱角定位块的内拐角的另一侧面所在的垂直面与第一U型复位块的槽口底面所在的垂直面相互平行设置。