[实用新型]一种防止晶舟位置偏移的定位装置有效
| 申请号： | 201920205392.3 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN209698935U | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 林金炜;许哲维 | 申请（专利权）人： | 福建省福联集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/02 | 分类号： | B25B11/02 |
| 代理公司： | 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 351117 福建省莆*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶舟 复位块 棱角 定位块 晶圆 机械手臂 棱角处 放入 本实用新型 定位装置 复位弹簧 工作效率 前后移动 位置偏移 向上翘起 左右移动 定位板 固定件 固定扣 再使用 偏移 背板 槽孔 凸起 破损 | ||
1.一种防止晶舟位置偏移的定位装置，其特征在于：包括定位板、第一棱角定位块、第二棱角定位块、第一U型复位块和第二U型复位块；
所述第一棱角定位块设置在定位板上，所述第二棱角定位块的内拐角朝向第一棱角定位块的内拐角设置在定位板上，所述第一U型复位块的槽口朝向第一棱角定位块的内拐角或和/或第二棱角定位块的内拐角设置在定位板上，所述第二U型复位块的槽口朝向第一棱角定位块的内拐角或和/或第二棱角定位块的内拐角设置在定位板上，且第一U型复位块和第二U型复位块的槽口底面位于同一个垂直面设置；
所述第一棱角定位块设置有固定扣，且所述固定扣位于第一棱角定位块朝向第二棱角定位块的端面上，所述第二棱角定位块设置有固定件，且所述固定件位于第二棱角定位块朝向第一U型复位块和/或第二U型复位块的端面上，所述第一U型复位块和第二U型复位块的槽口底面上都设置有复位弹簧。
2.根据权利要求1所述的一种防止晶舟位置偏移的定位装置，其特征在于：所述固定扣包括卡扣和固定块，所述固定块设置有凹槽，固定块设置在第一棱角定位块朝向第二棱角定位块的端面上，卡扣设置在第一棱角定位块或第二棱角定位块的顶面上，所述卡扣用于和凹槽配合装夹晶舟棱角处的凸起。
3.根据权利要求1所述的一种防止晶舟位置偏移的定位装置，其特征在于：所述固定件包括放置块和滑动插销，所述放置块设置在第二棱角定位块朝向第一U型复位块和/或第二U型复位块的端面上，滑动插销设置在放置块的顶面上，且所述滑动插销位于用于与晶舟的另一棱角处的槽孔配合固定。
4.根据权利要求1所述的一种防止晶舟位置偏移的定位装置，其特征在于：所述第一U型复位块还设置有调节螺丝，所述复位弹簧的一端设置在调节螺丝上，所述调节螺丝设置在第一U型复位块的顶面底部，所述第二U型复位块与第一U型复位块相同结构设置。
5.根据权利要求1所述的一种防止晶舟位置偏移的定位装置，其特征在于：所述第一棱角定位块的内拐角与第二棱角定位块的内拐角相对的侧面相互平行设置，且第一棱角定位块的内拐角的另一侧面与第二棱角定位块的内拐角的另一侧面位于同一个垂直面上。
6.根据权利要求5所述的一种防止晶舟位置偏移的定位装置，其特征在于：所述第一棱角定位块的内拐角的另一侧面所在的垂直面与第一U型复位块的槽口底面所在的垂直面相互平行设置。
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