[实用新型]一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置有效
申请号: | 201920163820.0 | 申请日: | 2019-01-30 |
公开(公告)号: | CN209812028U | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 贺锡;王宇;梁振兴 | 申请(专利权)人: | 眉山博雅新材料有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06 |
代理公司: | 51251 成都三诚知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 成实;饶振浪 |
地址: | 620000 四川省眉*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,包括夹头座、安置在夹头座上的弹簧夹头,安装在夹头座上并用于压紧弹簧夹头的锁紧螺母。本实用新型采用新型的夹持装置,通过扭转锁紧螺母控制弹簧夹头的大小从而夹持工件,对工件施力均匀,不会出现压坏晶棒的情况发生。此外,夹头座,弹簧夹头以及锁紧螺母均为高精度紧固件,可以有效保证工件加工时的垂直度,且本装置选用的弹簧夹头的夹头大小可按需求自行设计,适用范围较于常规技术手段有了明显的提升,且本装置装卸便利,操作便捷。 | ||
搜索关键词: | 夹头座 弹簧夹头 锁紧螺母 本实用新型 夹持装置 夹头 工件加工 工件施力 夹持工件 晶棒端面 控制弹簧 抛光加工 压紧弹簧 自行设计 垂直度 紧固件 晶棒 压坏 装卸 扭转 安置 便利 保证 | ||
【主权项】:
1.一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,其特征在于,包括夹头座(3),安置在夹头座(3)内的弹簧夹头(2),安装在夹头座(3)上并用于锁紧弹簧夹头(2)的锁紧螺母(1)。/n
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