[实用新型]一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置有效
申请号: | 201920163820.0 | 申请日: | 2019-01-30 |
公开(公告)号: | CN209812028U | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 贺锡;王宇;梁振兴 | 申请(专利权)人: | 眉山博雅新材料有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06 |
代理公司: | 51251 成都三诚知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 成实;饶振浪 |
地址: | 620000 四川省眉*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹头座 弹簧夹头 锁紧螺母 本实用新型 夹持装置 夹头 工件加工 工件施力 夹持工件 晶棒端面 控制弹簧 抛光加工 压紧弹簧 自行设计 垂直度 紧固件 晶棒 压坏 装卸 扭转 安置 便利 保证 | ||
1.一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,其特征在于,包括夹头座(3),安置在夹头座(3)内的弹簧夹头(2),安装在夹头座(3)上并用于锁紧弹簧夹头(2)的锁紧螺母(1)。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,其特征在于,所述弹簧夹头(2)上设置有贯穿整个弹簧夹头(2)的夹持孔(25),设置在弹簧夹头(2)上的若干个弹性槽(24);所述弹簧夹头(2)包括下锥形夹头(23),通过连接部(22)连接在下锥形夹头(23)上的上锥形夹头(21),所述上锥形夹头(21)与锁紧螺母(1)接触,下锥形夹头(23)与夹头座(3)接触;相邻的两个弹性槽(24)中,一个延伸至上锥形夹头(21)的顶端,另一个延伸至下锥形夹头(23)的底端。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,其特征在于,所述锁紧螺母(1)设有螺孔(11),所述螺孔(11)上端设置有与上锥形夹头(21)匹配的锁紧卡槽(12)。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,其特征在于,所述夹头座(3)内设置有与下锥形夹头(23)匹配的锥形夹槽(31),所述夹头座(3)外部设置有与锁紧螺母(1)相配合的外螺纹。
5.根据权利要求4所述的一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,其特征在于,所述夹头座(3)还设置有贯穿锥形夹槽(31)下端的限位孔(32)。
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