[实用新型]一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置有效

专利信息
申请号: 201920163820.0 申请日: 2019-01-30
公开(公告)号: CN209812028U 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 贺锡;王宇;梁振兴 申请(专利权)人: 眉山博雅新材料有限公司
主分类号: B24B41/06 分类号: B24B41/06
代理公司: 51251 成都三诚知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 成实;饶振浪
地址: 620000 四川省眉*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 夹头座 弹簧夹头 锁紧螺母 本实用新型 夹持装置 夹头 工件加工 工件施力 夹持工件 晶棒端面 控制弹簧 抛光加工 压紧弹簧 自行设计 垂直度 紧固件 晶棒 压坏 装卸 扭转 安置 便利 保证
【权利要求书】:

1.一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,其特征在于,包括夹头座(3),安置在夹头座(3)内的弹簧夹头(2),安装在夹头座(3)上并用于锁紧弹簧夹头(2)的锁紧螺母(1)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,其特征在于,所述弹簧夹头(2)上设置有贯穿整个弹簧夹头(2)的夹持孔(25),设置在弹簧夹头(2)上的若干个弹性槽(24);所述弹簧夹头(2)包括下锥形夹头(23),通过连接部(22)连接在下锥形夹头(23)上的上锥形夹头(21),所述上锥形夹头(21)与锁紧螺母(1)接触,下锥形夹头(23)与夹头座(3)接触;相邻的两个弹性槽(24)中,一个延伸至上锥形夹头(21)的顶端,另一个延伸至下锥形夹头(23)的底端。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,其特征在于,所述锁紧螺母(1)设有螺孔(11),所述螺孔(11)上端设置有与上锥形夹头(21)匹配的锁紧卡槽(12)。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,其特征在于,所述夹头座(3)内设置有与下锥形夹头(23)匹配的锥形夹槽(31),所述夹头座(3)外部设置有与锁紧螺母(1)相配合的外螺纹。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,其特征在于,所述夹头座(3)还设置有贯穿锥形夹槽(31)下端的限位孔(32)。

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