[实用新型]一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置有效
申请号: | 201920163820.0 | 申请日: | 2019-01-30 |
公开(公告)号: | CN209812028U | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 贺锡;王宇;梁振兴 | 申请(专利权)人: | 眉山博雅新材料有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06 |
代理公司: | 51251 成都三诚知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 成实;饶振浪 |
地址: | 620000 四川省眉*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹头座 弹簧夹头 锁紧螺母 本实用新型 夹持装置 夹头 工件加工 工件施力 夹持工件 晶棒端面 控制弹簧 抛光加工 压紧弹簧 自行设计 垂直度 紧固件 晶棒 压坏 装卸 扭转 安置 便利 保证 | ||
本实用新型公开了一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,包括夹头座、安置在夹头座上的弹簧夹头,安装在夹头座上并用于压紧弹簧夹头的锁紧螺母。本实用新型采用新型的夹持装置,通过扭转锁紧螺母控制弹簧夹头的大小从而夹持工件,对工件施力均匀,不会出现压坏晶棒的情况发生。此外,夹头座,弹簧夹头以及锁紧螺母均为高精度紧固件,可以有效保证工件加工时的垂直度,且本装置选用的弹簧夹头的夹头大小可按需求自行设计,适用范围较于常规技术手段有了明显的提升,且本装置装卸便利,操作便捷。
技术领域
本实用新型涉及机械加工领域,具体涉及一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置。
背景技术
现阶段,晶棒的端面加工时常选用胶水固定以及V型槽固定的夹持方式,这两种固定方式均有较大缺陷。其中,胶水固定并不能精准牢固地固定工件,且无法满足精加工时对垂直度的要求,而V型槽固定的夹持方式在使用过程中,会出现对晶棒施力不均从而使得晶棒变形的情况;此外,用于精加工的加工设备由于夹具的局限性,只能加工Φ1~Φ3mm的晶棒,适用范围过小。由此特提供一种夹持装置,弥补现阶段的技术空缺,满足现阶段的需求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述缺陷,提供一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置。
本实用新型的目的通过下述技术方案实现:
一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,作为一种优化方案,包括夹头座,安置在夹头座内的弹簧夹头,安装在夹头座上并用于锁紧弹簧夹头的锁紧螺母。
进一步的,所述弹簧夹头上设置有贯穿整个弹簧夹头的夹持孔,设置在弹簧夹头上的若干个弹性槽;所述弹簧夹头包括下锥形夹头,通过连接部连接在下锥形夹头上的上锥形夹头,所述上锥形夹头与锁紧螺母接触,下锥形夹头与夹头座接触;相邻的两个弹性槽中,一个延伸至上锥形夹头的顶端,另一个延伸至下锥形夹头的底端。
进一步的,所述锁紧螺母设有螺孔,所述螺孔上端设置有与上锥形夹头匹配的锁紧卡槽。
进一步的,所述夹头座内设置有与下锥形夹头匹配的锥形夹槽,所述夹头座外部设置有与锁紧螺母相配合的外螺纹。
进一步的,所述夹头座还设置有贯穿锥形夹槽下端的限位孔。
本实用新型较现有技术相比,具有以下优点及有益效果:
1、本实用新型采用新型的夹持装置,通过扭转锁紧螺母控制弹簧夹头的夹持孔大小从而夹持工件,对工件施力均匀,不会出现压坏晶棒的情况发生。
2、本实用新型所使用的夹头座,弹簧夹头以及锁紧螺母均为高精度紧固件,可以有效保证工件加工时的垂直度。
3、本实用新型选用的弹簧夹头的夹持孔孔径大小可按需求自行设计,适用范围较于常规技术手段有了明显的提升,且本装置装卸便利,操作便捷。
附图说明
图1为本实用新型的结构图;
图2为弹簧夹头的俯视图;
图3为本实用新型的使用状态图;
其中:1-锁紧螺母,11-螺孔,12-锁紧卡槽,2-弹簧夹头,21-上锥形夹头, 22-连接部,23-下锥形夹头,24-弹性槽,3-夹头座,31-锥形夹槽,32-限位孔。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步地详细说明,但本实用新型的实施方式并不限于此。
实施例
如图1所示,一种用于晶棒端面抛光加工的夹持装置,作为一种优化方案,包括夹头座3、安置在夹头座3上的弹簧夹头2,安装在夹头座3上并用于锁紧弹簧夹头2的锁紧螺母1。
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