[实用新型]一种硅片抛光用废料回收装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片抛光用废料回收装置，包括设备撑架、废料筒、集料漏斗和排废漏斗，设备撑架的中部螺丝固定有废料筒，废料筒的上方设有集料漏斗，废料筒与集料漏斗之间连接有颈管，颈管内设有空腔，空腔内设有拨料盘，颈管通过转轴与拨料盘转动连接，颈管的外侧螺丝固定有伺服电机，伺服电机的输出端穿过颈管外壁与拨料盘焊接，拨料盘的曲面上等距分布有四个凹槽，本实用新型通过设置风管、离子风机和废料筒，可在装置内部形成旋风，气流沿废料筒内壁旋转上升，正负电荷可消除废料筒内壁的静电，使得抛光碎屑不会粘附在废料筒内壁上，多个泄压管可有效将高压气体排出，泄压管管口远离废料筒内壁，可避免抛光废料被离心力甩出。

主权项

1.一种硅片抛光用废料回收装置，包括设备撑架(1)、废料筒(2)、集料漏斗(3)和排废漏斗(5)，其特征在于，所述设备撑架(1)的中部螺丝固定有废料筒(2)，所述废料筒(2)的上方设有集料漏斗(3)，所述废料筒(2)与集料漏斗(3)之间连接有颈管(8)，所述颈管(8)内设有空腔(10)，所述空腔(10)内设有拨料盘(11)，所述颈管(8)通过转轴与拨料盘(11)转动连接，所述颈管(8)的外侧螺丝固定有伺服电机(9)，所述伺服电机(9)的输出端穿过颈管(8)外壁与拨料盘(11)焊接，所述拨料盘(11)的曲面上等距分布有四个凹槽(12)，所述废料筒(2)的下端焊接有排废漏斗(5)，所述排废漏斗(5)的下侧焊接有废料管(6)，所述废料管(6)固定安装有废料阀(7)，所述设备撑架(1)的上侧且位于废料筒(2)的一侧螺丝固定有离子风机(15)，所述离子风机(15)的输出端套有风管(16)，所述风管(16)远离离子风机(15)的一端插入废料筒(2)内，所述废料筒(2)的外壁嵌设有若干泄压管(13)，所述泄压管(13)位于废料筒(2)内的一端固定安装有过滤网(14)。