[实用新型]一种硅片抛光用废料回收装置有效
| 申请号： | 201920145132.1 | 申请日： | 2019-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN209598923U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 张俊杰 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B55/12 |
| 代理公司： | 上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙) 31289 | 代理人： | 张恒 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 废料筒 颈管 拨料盘 内壁 集料漏斗 废料回收装置 本实用新型 硅片抛光 螺丝固定 伺服电机 撑架 等距分布 高压气体 离子风机 抛光废料 抛光碎屑 旋转上升 正负电荷 转动连接 静电 输出端 泄压管 风管 空腔 排出 排废 甩出 外壁 泄压 粘附 转轴 焊接 漏斗 旋风 穿过 | ||
1.一种硅片抛光用废料回收装置，包括设备撑架(1)、废料筒(2)、集料漏斗(3)和排废漏斗(5)，其特征在于，所述设备撑架(1)的中部螺丝固定有废料筒(2)，所述废料筒(2)的上方设有集料漏斗(3)，所述废料筒(2)与集料漏斗(3)之间连接有颈管(8)，所述颈管(8)内设有空腔(10)，所述空腔(10)内设有拨料盘(11)，所述颈管(8)通过转轴与拨料盘(11)转动连接，所述颈管(8)的外侧螺丝固定有伺服电机(9)，所述伺服电机(9)的输出端穿过颈管(8)外壁与拨料盘(11)焊接，所述拨料盘(11)的曲面上等距分布有四个凹槽(12)，所述废料筒(2)的下端焊接有排废漏斗(5)，所述排废漏斗(5)的下侧焊接有废料管(6)，所述废料管(6)固定安装有废料阀(7)，所述设备撑架(1)的上侧且位于废料筒(2)的一侧螺丝固定有离子风机(15)，所述离子风机(15)的输出端套有风管(16)，所述风管(16)远离离子风机(15)的一端插入废料筒(2)内，所述废料筒(2)的外壁嵌设有若干泄压管(13)，所述泄压管(13)位于废料筒(2)内的一端固定安装有过滤网(14)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片抛光用废料回收装置,其特征在于，若干所述泄压管(13)均位于废料筒(2)的上端。
3.根据权利要求1所述的一种硅片抛光用废料回收装置,其特征在于，所述风管(16)与废料筒(2)内壁相切。
4.根据权利要求1所述的一种硅片抛光用废料回收装置,其特征在于，所述离子风机(15)为SL-028型号的离子风机(15)。
5.根据权利要求1所述的一种硅片抛光用废料回收装置,其特征在于，所述伺服电机(9)和离子风机(15)均通过导线连接有电源。
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