[实用新型]一种硅片抛光用废料回收装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片抛光用废料回收装置，包括设备撑架、废料筒、集料漏斗和排废漏斗，设备撑架的中部螺丝固定有废料筒，废料筒的上方设有集料漏斗，废料筒与集料漏斗之间连接有颈管，颈管内设有空腔，空腔内设有拨料盘，颈管通过转轴与拨料盘转动连接，颈管的外侧螺丝固定有伺服电机，伺服电机的输出端穿过颈管外壁与拨料盘焊接，拨料盘的曲面上等距分布有四个凹槽，本实用新型通过设置风管、离子风机和废料筒，可在装置内部形成旋风，气流沿废料筒内壁旋转上升，正负电荷可消除废料筒内壁的静电，使得抛光碎屑不会粘附在废料筒内壁上，多个泄压管可有效将高压气体排出，泄压管管口远离废料筒内壁，可避免抛光废料被离心力甩出。

技术领域

本实用新型涉及废料回收装置，特别涉及一种硅片抛光用废料回收装置，属于废料回收设备技术领域。

背景技术

硅片是制作晶体管和集成电路的原料，一般是单晶硅的切片，硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，硅片生产过程中需要进行抛光作业，为节省单晶硅资源，避免生产污染，需要对硅片抛光废料进行收集，硅片抛光废料为细小碎屑，且抛光碎屑具有一定电荷，极易粘附在废料回收装置内壁上，这使得抛光废料难以清除完全，给废料的回收工作带来了不便，且自带电荷的废料给废料加工流程也带来了不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷而提供通过设置风管、离子风机、泄压管、拨料盘和废料筒，解决了抛光碎屑具有一定电荷，极易粘附在废料回收装置内壁上，这使得抛光废料难以清除完全，给废料的回收工作带来了极大不便的问题。

实现上述目的的技术方案是：

一种硅片抛光用废料回收装置，包括设备撑架、废料筒、集料漏斗和排废漏斗，所述设备撑架的中部螺丝固定有废料筒，所述废料筒的上方设有集料漏斗，所述废料筒与集料漏斗之间连接有颈管，所述颈管内设有空腔，所述空腔内设有拨料盘，所述颈管通过转轴与拨料盘转动连接，所述颈管的外侧螺丝固定有伺服电机，所述伺服电机的输出端穿过颈管外壁与拨料盘焊接，所述拨料盘的曲面上等距分布有四个凹槽，所述废料筒的下端焊接有排废漏斗，所述排废漏斗的下侧焊接有废料管，所述废料管固定安装有废料阀，所述设备撑架的上侧且位于废料筒的一侧螺丝固定有离子风机，所述离子风机的输出端套有风管，所述风管远离离子风机的一端插入废料筒内，所述废料筒的外壁嵌设有若干泄压管，所述泄压管位于废料筒内的一端固定安装有过滤网。

作为本实用新型的一种优选技术方案，若干所述泄压管均位于废料筒的上端。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述风管与废料筒内壁相切。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述离子风机为SL-028型号的离子风机。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述伺服电机和离子风机均通过导线连接有电源。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置风管、离子风机和废料筒，可在装置内部形成旋风，气流沿废料筒内壁旋转上升，正负电荷可消除废料筒内壁的静电，使得抛光碎屑不会粘附在废料筒内壁上，多个泄压管可有效将高压气体排出，泄压管管口远离废料筒内壁，可避免抛光废料被离心力甩出，凹槽可不断填装进料，拨料盘曲面与空腔内壁紧密贴合，具有密封作用，解决了抛光废料容易粘附储筒内壁的问题，且本硅片抛光用废料回收装置可消除抛光废料本身的静电，可方便抛光废料的加工流程。

附图说明

图1是本实用新型的外观图；

图2是本实用新型的结构剖视图；

图3是图2的A处放大图。

图中：1、设备撑架；2、废料筒；3、集料漏斗；4、控制面板；5、排废漏斗；6、废料管；7、废料阀；8、颈管；9、伺服电机；10、空腔；11、拨料盘；12、凹槽；13、泄压管；14、过滤网；15、离子风机；16、风管。