[实用新型]一种大曲率半径球面光学元件自动化位姿调整装置有效
| 申请号： | 201920131601.4 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN209673675U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 杨甬英;曹频 | 申请（专利权）人： | 杭州晶耐科光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;H04N5/232 |
| 代理公司： | 33200 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 忻明年<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 310027 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大曲率半径球面光学元件自动化位姿调整装置。本实用新型利用高倍显微镜对大曲率半径球面光学元件表面沿竖直和水平两条正交直径的四个边缘特征点分别进行对焦到离焦的连续多幅暗场灰度图像采集，计算图像Tenengrad算子值，拟合Tenengrad算子值与高倍显微镜轴向移动量曲线，依据图像Tenengrad算子极值判据搜寻正焦位置，获得各特征点空间坐标；通过建立特征点与调整装置空间数学模型，将四特征点空间坐标转换为俯仰和自旋两维调整量，进行位姿调整操作。本实用新型解决了大曲率半径球面光学元件在显微镜全口径扫描检测过程中出现的因光学元件光轴与显微镜光轴不平行以及球面光学元件矢高变化超出显微镜景深范围而造成的离焦问题。 | ||
| 搜索关键词： | 大曲率半径球面 本实用新型 光学元件 算子 特征点 高倍显微镜 离焦 显微镜 光学元件表面 灰度图像采集 空间坐标转换 球面光学元件 扫描检测过程 位姿调整装置 图像 显微镜光轴 轴向移动量 俯仰 边缘特征 调整装置 空间坐标 数学模型 位姿调整 不平行 调整量 全口径 暗场 对焦 光轴 景深 拟合 判据 矢高 竖直 正交 自旋 搜寻 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种大曲率半径球面光学元件自动化位姿调整装置，其特征在于包括：/n大曲率半径球面光学元件(S1)、大曲率半径球面光学元件固定架(S2)、调整上板(S3)、长转轴(S4)、俯仰调整电机(S5)、同步带(S6)、俯仰驱动机构组件(S7)、调整中间板(S8)、圆弧导轨(S9)、调整顶块(S10)、自旋调整电机(S11)、底板(S12)、高倍显微镜(S15)和CCD相机(S16)；其中大曲率半径球面光学元件(S1)安装在大曲率半径球面光学元件固定架(S2)上，大曲率半径球面光学元件固定架(S2)固定在调整上板(S3)上，调整上板(S3)通过长转轴(S4)和俯仰驱动机构组件(S7)与调整中间板(S8)连接，俯仰调整电机(S5)固定在调整中间板(S8)上，通过同步带(S6)与俯仰驱动机构组件(S7)连接；调整中间板(S8)底部安装在圆弧导轨(S9)上，圆弧导轨(S9)安装在底板(S12)上；调整中间板(S8)上安装有调整顶块(S10)；底板(S12)上固定有自旋调整电机(S11)；安装高倍显微镜(S15)和CCD相机(S16)作为检测成像系统，使其光轴与大曲率半径球面光学元件(S1)光轴平行。/n
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