[实用新型]一种水平转移矽晶片的装置有效

专利信息
申请号: 201920112648.6 申请日: 2019-01-23
公开(公告)号: CN209515629U 公开(公告)日: 2019-10-18
发明(设计)人: 李翔 申请(专利权)人: 佛山市南海益晶科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 武汉明正专利代理事务所(普通合伙) 42241 代理人: 张伶俐
地址: 528000 广东省佛山*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种水平转移矽晶片的装置,包括箱体,所述箱体内设有空腔,所述空腔内的底部转动连接有转动杆,所述转动杆的上端贯穿空腔内的顶部并延伸至箱体的上端,所述空腔内的底部一侧固定有保护箱,所述保护箱内的一端侧壁上安装有伺服电机,所述伺服电机的输出轴末端固定有连接杆,所述连接杆的一端贯穿保护箱内的一端侧壁并延伸至保护箱的一侧。本实用新型通过对水平转移装置的改进,解决了现有的矽晶片生产过程中水平转移时效率低下的问题,并且通过夹持块和夹持板可以对矽晶片稳定夹持,还能通过第二螺钉更换不同规格的夹持装置,提高了生产效率,降低了破损率,节省了成本,方便使用。
搜索关键词: 矽晶片 水平转移 空腔 本实用新型 伺服电机 上端 保护箱 连接杆 转动杆 侧壁 水平转移装置 输出轴末端 夹持装置 生产过程 生产效率 转动连接 螺钉 夹持板 夹持块 破损率 贯穿 延伸 夹持 改进
【主权项】:
1.一种水平转移矽晶片的装置,包括箱体(2),其特征在于:所述箱体(2)内设有空腔,所述空腔内的底部转动连接有转动杆(1),所述转动杆(1)的上端贯穿空腔内的顶部并延伸至箱体(2)的上端,所述空腔内的底部一侧固定有保护箱(10),所述保护箱(10)内的一端侧壁上安装有伺服电机(11),所述伺服电机(11)的输出轴末端固定有连接杆,所述连接杆的一端贯穿保护箱(10)内的一端侧壁并延伸至保护箱(10)的一侧,所述连接杆的一端固定有第二锥形齿轮(9),所述转动杆(1)上固定有第一锥形齿轮(8),且第一锥形齿轮(8)和第二锥形齿轮(9)相互啮合,所述箱体(2)的上端设有转动装置,所述转动装置的上端设有机械臂(6),所述机械臂(6)的一端设有夹持装置。
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