[实用新型]一种旋转导气结构有效

专利信息
申请号: 201920094621.9 申请日: 2019-01-21
公开(公告)号: CN209282178U 公开(公告)日: 2019-08-20
发明(设计)人: 文祖军 申请(专利权)人: 中之半导体科技(东莞)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 东莞市永桥知识产权代理事务所(普通合伙) 44400 代理人: 何新华
地址: 523430 广东省东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供了一种旋转导气结构,包括固定架、旋转导气装置,所述旋转导气装置包括固定柱、套设在所述固定柱下端外侧的旋转支撑组件、套设在所述固定柱上端外侧的导气组件、以及位于所述旋转支撑组件与所述导气组件之间的弹簧,所述旋转支撑组件包括轴承座、位于所述轴承座内侧的轴承、以及位于所述轴承下侧的轴承顶板,所述导气组件包括进气盘、位于所述进气盘上侧的上换气盘、以及位于所述上换气盘上侧的出气盘,所述出气盘与所述固定柱配合连接,所述上换气盘、出气盘与所述固定柱之间均具有间隙。本实用新型的旋转导气结构,能够将其安装在凸轮分割机的输出轴上,在分割器旋转的情况下能稳定有序的给工作件通断真空及压缩气。
搜索关键词: 固定柱 旋转支撑组件 导气结构 导气组件 出气盘 换气盘 轴承 旋转导气装置 本实用新型 进气盘 轴承座 配合连接 上端 分割机 分割器 工作件 固定架 输出轴 压缩气 弹簧 通断 下端
【主权项】:
1.一种旋转导气结构,其特征在于,包括固定架(1)、以及安装在所述固定架(1)上的旋转导气装置(2),所述旋转导气装置(2)包括固定柱(21)、套设在所述固定柱(21)下端外侧的旋转支撑组件(22)、套设在所述固定柱(21)上端外侧的导气组件(23)、以及位于所述旋转支撑组件(22)与所述导气组件(23)之间的弹簧(24),所述旋转支撑组件(22)包括轴承座(221)、位于所述轴承座(221)内侧的轴承(222)、以及位于所述轴承(222)下侧的轴承顶板(223),所述导气组件(23)包括进气盘(231)、位于所述进气盘(231)上侧的上换气盘(232)、以及位于所述上换气盘(232)上侧的出气盘(233),所述出气盘(233)与所述固定柱(21)配合连接,所述上换气盘(232)、出气盘(233)与所述固定柱(21)之间均具有间隙。
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