[实用新型]一种旋转导气结构有效
申请号: | 201920094621.9 | 申请日: | 2019-01-21 |
公开(公告)号: | CN209282178U | 公开(公告)日: | 2019-08-20 |
发明(设计)人: | 文祖军 | 申请(专利权)人: | 中之半导体科技(东莞)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 东莞市永桥知识产权代理事务所(普通合伙) 44400 | 代理人: | 何新华 |
地址: | 523430 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种旋转导气结构,包括固定架、旋转导气装置,所述旋转导气装置包括固定柱、套设在所述固定柱下端外侧的旋转支撑组件、套设在所述固定柱上端外侧的导气组件、以及位于所述旋转支撑组件与所述导气组件之间的弹簧,所述旋转支撑组件包括轴承座、位于所述轴承座内侧的轴承、以及位于所述轴承下侧的轴承顶板,所述导气组件包括进气盘、位于所述进气盘上侧的上换气盘、以及位于所述上换气盘上侧的出气盘,所述出气盘与所述固定柱配合连接,所述上换气盘、出气盘与所述固定柱之间均具有间隙。本实用新型的旋转导气结构,能够将其安装在凸轮分割机的输出轴上,在分割器旋转的情况下能稳定有序的给工作件通断真空及压缩气。 | ||
搜索关键词: | 固定柱 旋转支撑组件 导气结构 导气组件 出气盘 换气盘 轴承 旋转导气装置 本实用新型 进气盘 轴承座 配合连接 上端 分割机 分割器 工作件 固定架 输出轴 压缩气 弹簧 通断 下端 | ||
【主权项】:
1.一种旋转导气结构,其特征在于,包括固定架(1)、以及安装在所述固定架(1)上的旋转导气装置(2),所述旋转导气装置(2)包括固定柱(21)、套设在所述固定柱(21)下端外侧的旋转支撑组件(22)、套设在所述固定柱(21)上端外侧的导气组件(23)、以及位于所述旋转支撑组件(22)与所述导气组件(23)之间的弹簧(24),所述旋转支撑组件(22)包括轴承座(221)、位于所述轴承座(221)内侧的轴承(222)、以及位于所述轴承(222)下侧的轴承顶板(223),所述导气组件(23)包括进气盘(231)、位于所述进气盘(231)上侧的上换气盘(232)、以及位于所述上换气盘(232)上侧的出气盘(233),所述出气盘(233)与所述固定柱(21)配合连接,所述上换气盘(232)、出气盘(233)与所述固定柱(21)之间均具有间隙。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造