[实用新型]一种光电转换器件

摘要

本实用新型的光电转换器件包括线阵基板、光电二极管线阵、针状或者柱状CsI:Tl单晶构成的多晶薄膜、背板和胶粘剂层。相比生长单晶，多晶薄膜的真空蒸镀技术具有生产周期短，工艺和设备简单等优点，可一次性批量制备背板和多晶薄膜组件，极大的提高了生产效率，背板尺寸可以根据实际需要预先加工，然后在其表面制备多晶薄膜，无需后续的切割工艺，避免对多晶薄膜的破坏，提高成品率。避免直接在光电二极管线阵上制备多晶薄膜对线阵的破坏。针状或者柱状多晶薄膜可以有效降低薄膜内部的光散射。该光电转换器件，能够将X射线转化为电信号，广泛用于基于X射线/伽马射线成像技术的安检机，有效提高安检机图像的分辨率，降低成本。