[实用新型]一种PECVD花篮自动传送的设备有效
| 申请号： | 201920079256.4 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN209843734U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 陈剑雨;陈清彬;朱伟忠 | 申请（专利权）人： | 福建金石能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种PECVD花篮自动传送的设备，其包括上料机构、下料机构、伸缩气缸、传送皮带、伺服电机，用于承载硅片的花篮通过上料机构和下料机构进行传输运转，所述上料机构位于设备主体的上部，下料机构位于设备主体的下部，所述传送皮带设在设备主体的上部和下部，上料机构和下料机构通过传送皮带进行传输，并且通过伸缩气缸在设备主体的上部和下部进行升降。本实用新型采用以上设计方案、通过花篮回流的传送方式，减少人为污染硅片的几率，降低操作人员劳动强度与操作难度，在硅片传送过程中仍可保持花篮传送，避免设备的等待时间，提高了生产效率，合理设置检测开关装置，配合传送机构，使花篮传送过程更加流畅。 | ||
| 搜索关键词： | 上料机构 设备主体 下料机构 花篮 传送皮带 本实用新型 伸缩气缸 硅片 检测开关装置 传输 传送方式 传送过程 传送机构 硅片传送 合理设置 人为污染 生产效率 伺服电机 自动传送 与操作 升降 传送 承载 运转 配合 | ||
【主权项】：
1.一种PECVD花篮自动传送的设备，其特征在于：包括上料机构、下料机构、伸缩气缸、传送皮带、伺服电机，用于承载硅片的花篮通过上料机构和下料机构进行传输运转，所述上料机构位于设备主体的上部，下料机构位于设备主体的下部，所述传送皮带设在设备主体的上部和下部，上料机构和下料机构通过传送皮带进行传输，并且通过伸缩气缸在设备主体的上部和下部进行升降，所述传送皮带由伺服电机带动转动。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
